Tamaño de la cámara | φ1900 * H1300 | Espacio efectivo | φ1600 * H1000 |
Presión máxima | 5.0 * 10 -4 Pa | Tasa de fuga | <> -3 Pa.L / s |
Recubrimientos standard | IP-negro, oro rosa, IP-oro, azul zafiro, oro champán, plata, marrón, colorido, pistola Negro, circonio, rosa roja, etc. | Configuración estándar | 10 arcos catódicos / Objetivos Cilíndricos 12 MF |
Tensión / Hz | 380V / 50Hz | Poder real | 120KW |
Tecnología | MF + ARC (Opcional) | Cantidad de destino | 12 objetivos cilíndricos / 10 objetivos de arco |
Fuente de alimentación | Poder de pulverización magnetrón MF Suministro Fuente de alimentación de DC Pulse-bias ; Fuente de alimentación de arco de vacío especial | Sistema de vacío | Bomba molecular Bomba de raices Bomba de paletas rotativas |
Ciclo de recubrimiento | 1.5-3.5 horas / horno | Espacio de ocupacion | L3600 * W3200 * H2600mm |
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