Equipo de recubrimiento óptico de PVD

Equipo de recubrimiento óptico de PVD

Uso del equipo: película fotoeléctrica de evaporación de pistola de electrones de área grande, película óptica y película anti - huella digital.
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Detalles

La máquina de recubrimiento por evaporación Iks-opt2700 está diseñada para la producción rápida de recubrimiento de película óptica de área grande y película de modificación de superficie de capa única / multicapa. La máquina es una máquina de recubrimiento de una sola cavidad vertical, que es un sistema de recubrimiento de película óptica multicapa basado en la evaporación de la pistola de electrones. Los principales productos de este equipo incluyen películas dieléctricas ópticas de múltiples capas depositadas por evaporación y películas antihuellas, etc. Película espectrofotométrica de luz, película antirreflectante de luz visible, etc., que también se puede probar y producir para un sistema de película específico con características ópticas simples.


Parámetros técnicos: 1, instalar: L5500 L45000 * * H3400mm; 2, el cuerpo de la cavidad interna: Φ H1680mm 3, cargando: 2700 * 2650 * H420mm frame marco de acero inoxidable; 4. Material objetivo: un conjunto de cañones de electrones de 12 orificios, cobre refrigerado por agua; 5. Evaporación: un conjunto de resistencia al sistema de evaporación; 6. Rango de vacío: atm-6 * 10-4pa; 7. Fuente de iones: fuente de iones de hall, 4KW; 8. Velocidad de deposición: mac-3b / XTC3 / S; 9. Calentamiento de la cavidad: 6 grupos de calentamiento de filamento base, 24KW; 10. Vacío: medidor de flujo y gas de proceso de control de válvula de aguja; 11, fuente de alimentación: 220 v50Hz 12, brida externa: KF16 y KF25 13, vacío ganado: bomba mecánica, bomba de raíces y bomba a baja temperatura


Solicitud:

光学1optical1

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Consulta

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