Sistema de Sputtering de PVD

Sistema de Sputtering de PVD

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Es un control magnético y multi-arco todo-en-uno la máquina. Este equipo adopta la tecnología, tecnología de la galjanoplastia del ion del multi-arco, tecnología sesgo pulso y otras tecnologías avanzadas de la farfulla del magnetrón de la frecuencia media. También utiliza alimentación farfulla alta potencia de frecuencia media, magnéticamente controlados objetivos cilíndricos de media frecuencia y arco neumático redondo blancos, que aumentan la tarifa de la farfulla de objetivos y la tasa de deposición de películas delgadas, pero también mejora considerablemente la adherencia y uniformidad de la película.


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