Características de recubrimiento de la máquina de recubrimiento de iones al vacío

- May 28, 2018-


En comparación con la máquina de revestimiento por evaporación y la máquina de revestimiento por pulverización catódica, la máquina de revestimiento por ionización se caracteriza por el hecho de que los iones cargados bombardean el sustrato y la capa de película durante el depósito. La serie de efectos producidos por el bombardeo de iones energéticos tiene los siguientes puntos principales:


1. La fuerza de adhesión película / base (adhesión) es fuerte y la capa de película no se desprende fácilmente. Debido al efecto de pulverización catódica del bombardeo iónico sobre el sustrato, el sustrato se limpia, activa y calienta, lo que puede eliminar el gas adsorbido y la capa de contaminación en la superficie de los sustratos, y el óxido en la superficie del sustrato también puede ser eliminado. remoto. El calentamiento y los defectos causados por el bombardeo de iones pueden mejorar el efecto de difusión del sustrato. No solo mejora las propiedades de microestructura y cristalización de la capa superficial del sustrato, sino que también proporciona las condiciones para la formación de la aleación. Además, el bombardeo con iones de mayor energía también puede producir ciertos efectos de implantación de iones y de mezcla de iones.


2. Las máquinas de revestimiento de iones tienen buenas propiedades de difracción. En el recubridor de lámpara, los iones o moléculas de vapor ionizado vaporizado a alta presión (≥1Pa) encontrarán múltiples colisiones de moléculas de gas en el camino hacia el sustrato. Por lo tanto, las partículas de película se pueden dispersar alrededor del sustrato. Esto mejora la cobertura de la película. Además, los iones de membranas ionizados de un revestidor de iones multiac arco también pueden ser depositados por la planta de energía en cualquier posición en la superficie de un sustrato de voltaje negativo. Por lo tanto, este punto de chapado por evaporación no se puede lograr.


3. La calidad del recubrimiento es alta. Como el bombardeo iónico puede aumentar la densidad de la película, la máquina de recubrimiento por pulverización catódica puede mejorar la estructura de la película, lo que hace que la película sea uniforme, la microestructura del recubrimiento es compacta y tiene menos orificios y burbujas. Por lo tanto, se mejora la calidad de la capa de la película.


4. La tasa de deposición es alta y la velocidad de formación de la película es rápida, y se puede preparar la película gruesa de 30 μm.


5. El material de sustrato y el material de recubrimiento aplicado al recubrimiento son relativamente extensos. Es adecuado para revestir materiales metálicos, compuestos y no metálicos en superficies metálicas o no metálicas, como acero, metales no ferrosos, cuarzo, cerámica, plásticos y otros materiales. Debido a que la actividad del plasma es beneficiosa para reducir la temperatura de síntesis del compuesto, la máquina de revestimiento de iones multiac arco puede por lo tanto platear fácilmente con varias películas de compuestos duros mediante recubrimiento iónico.


Debido a las características anteriores, la máquina de recubrimiento de iones tiene una amplia gama de aplicaciones. La tecnología de placas de iones se puede utilizar para recubrir metales, aleaciones, materiales conductores e incluso materiales no conductores. La película depositada por una máquina de revestimiento de múltiples arcos puede ser una película de metal, una película de múltiples aleaciones y una película compuesta, que puede ser chapada con un recubrimiento único o un recubrimiento compuesto, y también puede ser chapada con un revestimiento de gradiente y un nano revestimiento multicapa Con diferentes materiales de membrana, diferentes gases de reacción y diferentes métodos y parámetros de proceso, es posible obtener un recubrimiento duro resistente al desgaste endurecido en la superficie, un recubrimiento resistente a la corrosión compacto y químicamente estable, una capa lubricante sólida y varios revestimientos decorativos de color, y revestimientos funcionales para electrónica, óptica y ciencia energética, entre otros. La tecnología de placas iónicas y los productos de revestimiento de placas iónicas se han aplicado ampliamente.