Caracterización del grado de vacío, unidad y división de la región de vacío.

- Dec 19, 2018-

Caracterización del grado de vacío, unidad y división de la región de vacío.


IKS PVD, somos fabricantes de equipos de revestimiento al vacío PVD, contáctenos ahora, iks.pvd @ foxmail.come


No es muy razonable utilizar la presión para representar el grado de vacío, que se ha utilizado en la historia de la medición del vacío con un manómetro de tipo u.

En el sistema de vacío general, la cantidad física hidrostática de la presión del gas neutro isotrópico se usa generalmente para expresar el grado de vacío. Por lo tanto, la medición del grado de vacío solo se reduce a la medición de la presión. Sin embargo, se debe prestar especial atención a las condiciones de medición, que son el gas neutro único estacionario (movimiento aleatorio), de estado estacionario y isotrópico en un contenedor finito. En este caso, la distribución de velocidad de Maxwell, la ley de dispersión de coseno y el concepto de presión hidrostática (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ρ gh) son relativamente consistentes con la realidad objetiva, la medida del grado de vacío es relativamente simple y fácil.

 

De acuerdo con la definición de grado de vacío, es mejor expresar el grado de vacío por densidad molecular n, y no es contradictorio expresar el grado de vacío por presión. Cuando se mide la presión, el gas está generalmente en un estado de equilibrio y cumple con la ley de distribución de velocidad de Maxwell, es decir, p = nkT es cierto. La temperatura del gas es constante en el momento de la medición, por lo que la presión del gas p es proporcional a la densidad molecular n. En otras palabras, la presión es una medida de la densidad molecular, por lo que el vacío se puede expresar como presión.

 

En la investigación espacial, el objeto de investigación es el movimiento del espacio infinito (1 ~ 10 KMS - 1 o superior) y bajo la acción de una atmósfera de ambiente integrada e inestable compleja, la ley de distribución de velocidad máxima y la ley de dispersión de coseno no necesariamente, también Perdió el significado físico original, por lo que la presión de la medición de vacío es más compleja y difícil.

En general, es popular y se usa para expresar el grado de vacío por presión, pero no es el único. Los siguientes parámetros también se pueden utilizar para expresar el grado de vacío:

 

Cuando el grado de vacío es muy alto, es decir, cuando la densidad molecular es muy pequeña, la fluctuación estadística es muy obvia. Por ejemplo, cuando la presión p = 10-12pa, la fluctuación estadística es mayor que 5 veces 10-2, y la presión ha perdido su significado real. Por lo tanto, en algunos casos, la presión es solo un indicador relativo de otras cantidades .

 

1. Preguntas y respuestas

 

Unidades de vacío?

 

La presión de un gas definida por la colisión de una molécula de gas en una superficie es la tasa de cambio en el tiempo de la componente vertical del momento de una molécula de gas que colisiona con un área de superficie unitaria, es decir, la fuerza recibida por unidad de área en Pascal o pa.

1 pa = 1 Nm - 2

En ingeniería, a veces el valor de pa es demasiado pequeño, kPa y MPa se usan a menudo para expresar presión. Bajo vacío, a veces expresado como "porcentaje de vacío", como la bomba de vacío de anillo de agua, la bomba de vacío alternativa y la bomba de vacío de raíces de aire recto a menudo expresadas en esta unidad de vacío. Cuando la presión p> 102Pa, el porcentaje de vacío es delta.

微信图片_20181219150338

Donde: p0 - presión atmosférica estándar, Pa

 

Zonificación al vacío

 

Con una unidad para medir el grado de vacío, el grado de vacío se puede expresar cuantitativamente. Sin embargo, en la actualidad, el rango de presión involucrado en la tecnología de vacío ha alcanzado los 20 órdenes de magnitud, para facilitar el uso, a veces solo es necesario señalar el rango general de grado de vacío, generalmente dividido cualitativamente en varias regiones aproximadamente al vacío. . Las características físicas del movimiento molecular del gas en estado de vacío y el rango de trabajo efectivo de la bomba de vacío y el medidor de vacío se consideran en la base de la división de regiones.

En cuanto a la división de las regiones de vacío en China, los términos de la tecnología de vacío (gb3163-1982) estipulan lo siguiente:

微信图片_20181219150527

El vacío grueso, el bajo vacío y el alto vacío se dividen de acuerdo con la trayectoria libre promedio de las moléculas de gas en comparación con el tamaño característico d del contenedor. La principal consideración es si la colisión entre las moléculas de gas o la colisión entre las moléculas de gas y la pared del dispositivo juega un papel decisivo en la aparición de fenómenos físicos.

微信图片_20181219150610

El límite entre alto vacío y ultra alto vacío se establece como 10-6Pa. La razón principal es considerar el mecanismo de adsorción física al vacío. Solo cuando la presión p <10-6pa es="" obvia,="" puede="" ser="" obtenida="" por="" la="" bomba="" de="" difusión="" para="" extracción,="" y="" la="" presión="" es="" medida="" por="" el="" medidor="" de=""> En cuanto al límite entre el vacío ultraalto y el vacío ultraalto, es porque la fluctuación estadística (mayor que 5 * 10-2) ocurre cuando p <10-12>

 

Las regiones de vacío anteriores se dividen en regiones que representan un rango de presión, por la razón de que la presión aún se expresa en grados. Sin embargo, en un vacío bajo, un alto vacío, un vacío muy alto y un vacío muy alto, la presión referida es esencialmente diferente, solo una indicación relativa de otras cantidades.

 

Las características físicas del vacío, la bomba de vacío y el medidor de vacío utilizados en cada región se detallan en la tabla 1.

 

微信图片_20181219150701

Con el desarrollo de la tecnología de vacío, la división de regiones de vacío también ha cambiado.