Clasificación de los medidores de vacío

- May 30, 2018-


Hay muchos tipos de vacuómetros. Para la conveniencia de la investigación y el uso, una clasificación razonable es muy importante. Los métodos de clasificación son diferentes entre sí. Los siguientes son dos métodos de clasificación comúnmente usados:


1. Clasificación de acuerdo con el método de escala del vacuómetro


(1) Vacuómetro absoluto: presión de gas de lectura directa, su respuesta de presión (escala) se puede calcular por su propio tamaño geométrico o determinado por un dinamómetro. El vacuómetro absoluto es exacto para todos los gases de medición y es independiente del tipo de gas. El manómetro de tubo en U, el manómetro de vacío de compresión y el vacuómetro de radiación térmica se encuentran entre los vacuómetros absolutos.


(2) Vacuómetro relativo: la presión está determinada por la cantidad de relación de función con la presión del gas. No se puede calibrar por simple cálculo, y se debe realizar la calibración. El vacuómetro relativo generalmente está compuesto por un tubo de medición de vacío como sensor y un dispositivo de medición utilizado para controlar e indicar. La lectura está relacionada con el tipo de gas. Hay muchos tipos de vacuómetros relativos, como el vacuómetro de conducción de calor y el vacuómetro de ionización.


2. Clasificación según el principio de medición del indicador de vacío


De acuerdo con el principio de la medición del indicador de vacío, se puede dividir en medidor de vacío de medición directa y medidor de vacío de medición indirecta. La medición directa del vacuómetro es una medición directa de la fuerza en el área de la unidad.


(1) Indicador de vacío de nivel de líquido estático. La presión se mide por la diferencia de superficie del líquido entre los dos extremos del tubo en U.


(2) Indicador de vacío del elemento elástico. El valor de presión se mide mediante deformación elástica en la superficie del recipiente conectado al vacío.


Cuando la presión es 10 -1 Pa, la fuerza que actúa sobre la superficie del 1cm2 es solo 10 -5 N. Es obvio que es difícil medir una fuerza tan pequeña, pero el cambio de presión se puede medir indirectamente de acuerdo al cambio de la cantidad física relacionada con la presión del gas a baja presión. Hay algunos medidores de medición indirectos como a continuación:


(1) Indicador de vacío comprimido. El principio es aplicar la ley de Boyle sobre la base del tubo en U, que es aumentar la presión por compresión isotérmica, de modo que la presión se mide con un manómetro de tubo en U, y luego la presión medida se calcula con la relación entre el volumen y presión


(2) Calibrador de vacío de conducción de calor. El principio de la conducción del calor del gas a baja presión está relacionado con la presión. El vacuómetro de resistencia de uso común y el vacuómetro de termopar.


(3) Indicador de vacío de radiación térmica. El principio de la radiación térmica del gas a presión está relacionado con la presión.


(4) Vacuómetro ionizante. El principio de los cambios de flujo de plasma con la presión se obtiene mediante la colisión e ionización de moléculas de gas con partículas cargadas a baja presión. Tales como medidor de ionización de cátodo caliente, medidor de ionización de cátodo frío y medidor de vacío de ionización radiactiva.


(5) Indicador del tubo de descarga . El grado de vacío está determinado por la naturaleza de la descarga de gas y el color asociado con la presión de la descarga, que generalmente solo puede usarse como una medida cualitativa.


(6) medidor de vacío viscoso. El intercambio de momento entre el gas y la pared del recipiente a baja presión es el principio de la fricción externa. Tales como el vacuómetro de diafragma y el vacuómetro de rotor de levitación magnética.


(7) Indicador de vacío de presión. La medición de la presión parcial de gas mezclado se lleva a cabo mediante espectrometría de masas. Y el medidor de vacío de presión comúnmente utilizado, como el espectrómetro de masas cuadrupolar, el espectrómetro de masas ciclotrón y el espectrómetro de masas de radiofrecuencia.