Clasificaciones de medidores de vacío

- Jul 03, 2018-


1. Clasificado por el Método de Calibración de Vacío

 

(1) Indicador de vacío absoluto: lea directamente la presión del gas. Su respuesta de presión (escala) puede calcularse por su propia geometría o determinada por la fuerza de medición. Los vacuómetros absolutos son precisos para todos los gases. Los medidores de libras tipo U, los medidores de compresión y los medidores de radiación térmica pertenecen a los vacuómetros absolutos.

 

(2) Vacuómetro relativo: la presión se mide por la cantidad que se relaciona con la presión del gas. No se puede escalar con un simple cálculo y se debe calibrar a escala. Un indicador de vacío relativo generalmente consiste en un tubo de indicador de vacío (o cabeza de indicador) que funciona como un sensor y un medidor que se utiliza para el control y la indicación. La lectura está relacionada con el tipo de gas. Hay muchos tipos de medidores de vacío relativos, como los medidores de vacío de conducción de calor y los medidores de vacío de ionización.

 

2. Clasificación según el principio de medición del indicador de vacío

 

2.1. Medidor de vacío de medición directa

 

Este tipo de medidor de vacío mide directamente la fuerza por unidad de área, que incluye:

 

(1) Indicador de vacío de nivel de líquido estático: la presión se mide por la diferencia de nivel de líquido en ambos extremos del tubo en forma de U.

 

(2) Indicador de vacío del elemento elástico: la superficie del recipiente conectado al vacío se somete a presión para generar deformación elástica. La magnitud del valor de presión se mide por la deformación elástica.

 

2.2. Medidor de vacío de medición indirecta

 

Cuando la presión es de 10 -1 Pa, la fuerza que actúa sobre la superficie de 1 cm2 es solo 10 -5 N, y obviamente es difícil medir una fuerza tan pequeña. Sin embargo, el cambio en la presión se puede medir indirectamente en función de los cambios en las cantidades físicas asociadas con la presión del gas a baja presión. Este tipo de medidor de vacío que incluye:

 

(1) Vacuómetro de compresión: el principio es aplicar la ley de Boyle sobre la base del tubo en U, es decir, una cierta cantidad de gas que se va a probar se somete a compresión isotérmica para aumentar la presión, a fin de ser medida por un vacuómetro de tubo en U Luego calcule la presión medida usando la relación entre volumen y presión.

 

(2) Vacuómetro de conducción térmica: está hecho según el principio de que la conducción de calor a baja presión está relacionada con la presión. Los vacuómetros de conducción térmica comúnmente utilizados son vacuómetros de resistencia y vacuómetros de termopar.

 

(3) Indicador de vacío de radiación térmica: utilizando el principio de radiación y presión de calor.

 

(4) Vacuómetro de ionización: el principio de que las moléculas de gas son impactadas e ionizadas por las partículas cargadas a baja presión, y la corriente de iones generada cambia con la potencia eléctrica. Los vacuómetros de ionización incluyen un vacuómetro de ionización de cátodo caliente, un vacuómetro de ionización de cátodo frío, un vacuómetro de ionización radiactiva, etc.

 

(5) Indicador de tubo de descarga: El grado de vacío se mide por la condición de descarga de gas y la naturaleza del color y la presión de descarga, y generalmente solo se puede usar como medida cualitativa.

 

(6) Vacuómetro viscoso: el principio de fricción externa se usa para medir la presión. Incluyendo el vacuómetro de diafragma y el vacuómetro de rotor de suspensión magnética.

 

(7) Microscopía inducida por campo: la presión se calcula por la relación entre el tiempo y la presión de adsorción y desorción.

 

(8) Vacuómetro de presión parcial: la técnica de espectrometría de masa se usa para medir la presión parcial del gas mixto. Los medidores de uso común son los espectrómetros de masas cuadrupolares, los espectrómetros de masas ciclotrón y los espectrómetros de masas de radiofrecuencia.