Diseño de cámara de vacío para equipos de recubrimiento al vacío.

- Jan 21, 2019-

Diseño de cámara de vacío para equipos de recubrimiento al vacío.


IKS PVD, equipos de revestimiento al vacío de alta calidad , iks.pvd@foxmai.com

 

PVD10

La tecnología de recubrimiento por vacío consiste en utilizar métodos físicos o químicos en la condición de vacío, de modo que la superficie del objeto obtenga el cuerpo de película requerido, la tecnología de recubrimiento por vacío según los diferentes métodos divididos en placas de evaporación, placas de pulverización catódica, placas de iones, deposición de haz y deposición molecular. haz de epitaxia, etc. Este análisis del equipo de revestimiento es un revestimiento de pulverización catódica de magnetrón.

 

La cámara de vacío es una parte principal del equipo de vacío, el diseño de la cámara de vacío se considera principalmente el sellado y la confiabilidad, la estructura debe ser razonable, la producción de material del equipo de vacío se realiza en la cámara de vacío, el material tiene un pequeño impacto en el grado de vacío, el diseño no puede ser descuidado, para prestar atención a algunos problemas.

 

El uso de equipos de recubrimiento por pulverización magnetrónica al vacío generalmente adopta la estructura del cuerpo del cilindro, la estructura para garantizar el rápido tiempo, debido a que la bolsa de aire se desinflará lentamente, evitando así la cavidad de aislamiento, el sistema de vacío superior agregará una pistola pulverizadora de magnetrón, para hacer la La cámara de vacío y los componentes tienen suficiente resistencia, asegúrese de que, bajo la acción externa e interna, no produzcan el cambio de forma, el espesor es suficiente.

 

La soldadura es un proceso clave en la fabricación de la cámara de vacío, para garantizar que la cámara de vacío después de la soldadura no produzca un fenómeno de fuga, es necesario diseñar una estructura de soldadura razonable, mejorar la calidad de la soldadura, en el vacío ultraalto del la rugosidad de la pared interna para pulir la superficie interior del exterior es muy brillante y limpia, es necesario prestar especial atención a la necesidad de hacer un buen trabajo para prevenir las medidas de oxidación.