Efecto de la fuente de arco actual sobre la dureza de la película de estaño

- Jun 20, 2018-


La alta dureza es una característica muy importante de las películas de TiN, y la alta dureza corresponderá a una buena resistencia al desgaste. La corriente de fuente del arco tiene una gran influencia en la dureza de la película. La Figura 1 muestra la regla de variación de dureza de películas de TiN a diferentes corrientes de fuente de arco. Se puede ver que la dureza de la película de TiN aumenta con el aumento de la corriente de fuente de arco. La dureza de la película de TiN preparada en una corriente de fuente de arco de más de 80 A excede HV2000.

 

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Fig. 1 Relación entre la dureza de la película de TiN y la corriente de fuente de arco

 

La temperatura del sustrato afecta la estructura de crecimiento de la película y, por lo tanto, afecta su rendimiento. Cuando la temperatura es baja, la estructura de la película delgada es una estructura cristalina columnar relativamente grande. Esta estructura es bastante áspera, con baja densidad y muchos defectos en los hoyos, por lo que la dureza de la película es baja. Con el aumento de la corriente de la fuente de arco, la temperatura del sustrato también aumenta, y la difusión de los átomos que se depositan sobre el sustrato se acelera, por lo que la estructura de la película se transforma de una estructura columnar más suelta y más gruesa a una estructura de cristal columnar más densa y más pequeña . Al mismo tiempo, los granos se vuelven más finos y el límite de grano fortalece la película, por lo que aumenta la dureza de la película.