Fabricación y aplicación de blanco de titanio para revestir con PVD

- Jun 02, 2018-

Tradicionalmente, los procesos de fundición y los métodos de pulvimetalurgia se utilizan para producir blancos de aleación de aluminio y titanio .

 

Los orificios de aleación de titanio y aluminio que se aflojan y contraen no pueden evitarse mediante el proceso de fundición. Los tubos y lingotes de fundición de titanio y aluminio de gran tamaño no pueden garantizar un buen sellado y un efecto resistente al agua al producir el objetivo del tubo rotatorio. Además, el grosor de la pared disminuye a medida que se graba la pared del tubo. Mientras haya un agujero conectado y se afloje, el sellado empeora. La fuga causará que el tubo objetivo se ilumine y se descargue, o una gran cantidad de gas misceláneo participe en la reacción, lo que ocasionará que la película se caiga o que el color del recubrimiento sea incorrecto. En casos severos, el agua se inyecta en la cámara de vacío desde el orificio de contracción, que contamina la verdadera cavidad y la unidad de vacío.

 

No hay fallas de aflojamiento y reducción de agujeros por el proceso de metalurgia de polvo. Sin embargo, desde el punto de vista microscópico de la metalurgia del polvo, también es el material poroso. Por lo tanto, para producir un objetivo de tubo giratorio de titanio y aluminio, la densidad del material debe ser mayor que 98.%, pero cumplir con el requisito de densidad no significa que pueda usarse. Si el lingote de titanio y aluminio tiene un alto contenido de oxígeno y una microestructura irracional, no puede usarse para producir un objetivo de tubo giratorio debido a la gran tensión interna. Por lo tanto, existen muchos requisitos para la producción de polvo y la distribución del tamaño de partícula. Incluso si el material cumple con todas estas condiciones, el anillo de metalurgia de titanio de polvo de aluminio debe estar atado al tubo de acero inoxidable o tubo de titanio. Debido al gran coeficiente de expansión térmica del aluminio de titanio, la expansión del material objetivo local puede llegar a 0,5 a 1 m cuando se pulveriza, por lo que el método tradicional de encuadernación no puede resolver este problema de manera efectiva. Existe el fenómeno de que los lingotes de aluminio de titanio se separan y la energía térmica de la superficie del objetivo no se puede conducir ni explotar. El ajuste apretado del lingote de unión no es confiable, y la calidad del objetivo de aleación de aluminio y titanio revestido con plasma es pobre.

 

Recientemente, las industrias de relojes, joyería y gafas requieren que el revestimiento decorativo de oro rosa no contenga carbono y que la parte inferior de la rosa se acerque al color rosa dorado en la superficie de los revestimientos. Por lo tanto, TiCN no ha podido cumplir con los requisitos, y TiAlN es la solución más perfecta. Los relojes y relojes de gama baja no tienen muchos requisitos para el grosor y el espesor de la película, por lo que la mayoría usa un arco de aluminio de titanio para depositar el recubrimiento TiAlN. Los relojes y relojes de alta gama requieren un grosor de 1um o más con alto brillo. El arco no tiene ninguna ventaja para suavizar el grosor de la película debido a las gotas. En la actualidad, la mejor manera es usar el objetivo del tubo giratorio para depositar revestimiento de TiAIN, el color está más cerca del oro rosa, y el brillo no se ve afectado después de aumentar el espesor.


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