Introducir el controlador de flujo masivo

- Jan 31, 2018-


El controlador de flujo másico (MFC) se utiliza para la medición precisa y el control del caudal másico de gas. Por lo general, está compuesto por un sensor de flujo, una válvula de control de flujo, un circuito de control de amplificación y un canal de control de derivación. Su trabajo de alimentación y visualización de flujo y operaciones de ajuste por su fuente de alimentación de visualización de flujo de apoyo.


Uso y características


MFC desempeña un papel importante en la investigación científica y la producción en muchos campos, como la industria de la microelectrónica de semiconductores, el desarrollo de materiales especiales, la industria química, la industria petrolera, la medicina, la protección ambiental y el vacío.


Las aplicaciones típicas incluyen: equipos de proceso electrónico tales como difusión, oxidación, epitaxia, CVD, grabado con plasma, pulverización catódica, implantación de iones; y equipos de recubrimiento por vacío, cromatógrafos de gases y otros instrumentos analíticos.


Controlador de flujo másico y caudalímetro másico con alta precisión, buena repetibilidad, velocidad de respuesta rápida, arranque suave, rango de presión de trabajo estable y confiable (que puede funcionar en condiciones de alta presión o vacío), la operación es fácil de usar. MFC se puede instalar en cualquier posición y está conectado con la computadora para realizar el control automático.


El medidor de flujo generalmente se divide en los siguientes tipos:


1. Flujómetro volumétrico

Utiliza el elemento de medición mecánico para dividir continuamente el fluido en una única parte de volumen conocida. El flujo volumétrico del fluido se mide de acuerdo con el número de veces que se llena el volumen de fluido y se descarga uno tras otro sucesivamente desde la cámara de medición.


2. Flujómetro de flotador (medidor de flujo del rotor)

El medidor de flujo flotante es un tipo de caudalímetro de área variable, en un cono vertical de arriba a abajo, la sección transversal circular de la gravedad del flotador está soportada por la potencia líquida, de modo que el flotador puede estar libre en el cono. Se elevan y caen.


3. Flujómetro de presión diferencial

Se basa en la presión diferencial producida por el detector de flujo instalado en la tubería, la condición del fluido conocido y el medidor para calcular el flujo entre la tubería y la tubería.


4. Flujómetro de calles Vortex (VSF)

El generador de vórtice no aerodinámico se coloca en el fluido y el fluido se separa alternativamente en ambos lados del cuerpo generador para liberar dos series de instrumentos de vórtice entrelazados regularmente.


5. Caudalímetro de la turbina

Es el tipo principal de caudalímetro de velocidad. Utiliza el rotor de múltiples palas (turbina) para detectar la velocidad promedio del fluido y deduce el instrumento del volumen de flujo o la cantidad total.


6. Flujómetro ultrasónico

Es la medición del flujo midiendo el efecto del flujo de fluido en el haz ultrasónico (o pulso ultrasónico).


7. Caudalímetro electromagnético

El medidor de flujo electromagnético es un tipo de instrumento para medir la conductividad del líquido de acuerdo con la ley de inducción electromagnética de Faraday.


8. Flujómetro de masa térmica

El sensor del caudalímetro térmico contiene dos elementos sensores, un sensor de velocidad y un sensor de temperatura. Pueden compensar y calibrar automáticamente el cambio de temperatura del gas. La parte de calentamiento eléctrico del instrumento calentaba el sensor de velocidad a un cierto valor superior a la temperatura de las condiciones de trabajo, de modo que se formaba una diferencia de temperatura constante entre el sensor de velocidad y el sensor en la condición de temperatura de trabajo. Cuando la diferencia de temperatura se mantiene constante, la energía consumida por el calentamiento eléctrico es proporcional al flujo másico del flujo de gas, y es adecuada para la medición de un solo gas y la proporción fija de gas multicomponente.


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