Introducción de sesgo

- Feb 09, 2018-


El voltaje de polarización se refiere a la tensión negativa aplicada al sustrato durante el proceso de recubrimiento. El terminal positivo de la fuente de alimentación de polarización está conectado a la cámara de vacío, mientras que la cámara de vacío está conectada a tierra. El terminal negativo de la tensión de polarización está conectado a la pieza de trabajo. Debido a que el voltaje de la tierra generalmente se considera potencial cero, el voltaje en la pieza de trabajo tiene un sesgo negativo, referido como polarización.


1. Función del sesgo negativo


◆ Proporcionar energía de partículas;

◆ efecto de calentamiento en el sustrato;

◆ Eliminar el gas y la suciedad grasosa adsorbida en el sustrato es beneficioso para mejorar la fuerza de unión de la película;

◆ Activar la superficie del sustrato;

◆ Para las partículas grandes en iones de arco tienen efecto de purificación.


2. Clasificación del voltaje de polarización


(1) De acuerdo con la forma de onda se puede dividir en:


Sesgo DC   DC sesgo pulsado

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Sesgo de pulso superpuesto de CC Sesgo de pulso bipolar

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(2) Según la necesidad de cambiar el alto voltaje y el bajo voltaje cuando se utiliza la energía, se puede dividir en:


Diagrama de salida de potencia de conmutación de alta tensión y baja tensión

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No es necesario cambiar la salida de regulación continua continua de alta y baja tensión

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Parámetros ajustables de la fuente de alimentación de polarización: amplitud de polarización, relación de trabajo, frecuencia y forma de onda.


3. Característica de la fuente de alimentación de polarización


◆ El número de extinción de arco por minuto.

◆ Detección de la sensibilidad de grandes arcos (mJ / kW de energía de arco detectable).


4. Característica de carga de sesgo


La carga de trabajo del sesgo es plasma, y el plasma exhibe resistencia cuando se usa la polarización DC. Por otro lado, cuando se aplica una polarización por impulsos, el plasma presenta resistencia + capacitiva, que puede considerarse como una conexión en serie de resistencias y condensadores. La esencia de la capacitancia es causada por la cubierta de plasma en el sustrato.


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