Introducción del método de operación de la máquina de recubrimiento al vacío

- Mar 03, 2018-


La máquina de recubrimiento al vacío es un instrumento de recubrimiento que necesita operar a un vacío más alto. Se divide en dos tipos de evaporación y bombardeo.


El proceso de revestimiento por evaporación es generalmente el material objetivo de calentamiento, que provoca que los componentes superficiales del material objetivo se vaporicen en forma atómica o iónica, y se depositen sobre la superficie del sustrato, formando la película delgada a través del proceso de formación de la película.


El recubrimiento sputtering se puede entender simplemente como el uso de electrones o láser de alta energía para bombardear el objetivo y hacer que los componentes de la superficie del objetivo se pulvericen en forma de átomos o iones, y finalmente se depositen en la superficie del sustrato, formando el película delgada a través del proceso de formación de la película.


Use los pasos:


1. Método de operación del gabinete de control electromecánico para recubrimiento al vacío


(1) Abra la bomba de agua y la fuente de aire.


(2) Encienda la alimentación principal.


(3) Abra la fuente de alimentación de la bomba de retención y el medidor de vacío, la posición V1 de la posición del medidor de vacío, espere a que su valor sea menor que 10, y luego ingrese la siguiente operación. Probablemente necesita cinco minutos.


(4) Encienda la bomba mecánica, realice el pre-bombeo, abra la fuente de alimentación de la bomba turbo molecular y encienda la bomba molecular. El interruptor del manómetro de vacío se cambia a la posición de V2. Después de que el grado de vacío se bombea a menos de 2, deje de bombear y tardará 20 minutos.


(5) Cuando se observa que las lecturas de la bomba molecular de la turbina alcanzan 250, el pre bombeo se cierra, luego se abre la bomba de respaldo y las válvulas de alto vacío continúan evacuando. Solo después de que el vacío alcance 2 × 10-3, se puede encender la fuente de alimentación de la pistola electrónica.


2. Funcionamiento de la máquina de recubrimiento por vacío


(1) Encienda la alimentación principal.


(2) Al mismo tiempo, abra la fuente de alimentación de control de pistola electrónica I y II: de acuerdo con el control electrónico de la pistola I, el interruptor de retardo, y luego la luz de retardo, la lámpara de potencia y la luz de protección, se encienden. Después de tres minutos, la luz de retardo y la lámpara de protección se apagan. Si la puerta trasera no está cerrada o el relé de flujo está defectuoso, la luz de protección siempre estará encendida.


(3) Abra la alta presión, la alta presión alcanzará más de 10KV, ajuste la viga a aproximadamente 200mA, la rejilla de protección es 20V / 100mA, la corriente de filamento 1.2A, la corriente de deflexión oscila entre 1 ~ 1.7.


3. Secuencia de apagado de la máquina de recubrimiento al vacío


(1) Apague el conjunto de indicadores y la bomba molecular.


(2) Cuando la bomba molecular muestra hasta 50, la válvula de alto vacío, la bomba de respaldo y la bomba mecánica se cierran en secuencia. Probablemente necesita 40 minutos.


(3) Cuando la bomba molecular muestra menos de 50, cierre la bomba de retención.