Área objetivo de Magnetron y rango de potencia de carga y capacidad de carga real

- Jun 23, 2018-


  1. Área objetivo y rango de potencia de carga

 

(1) La densidad de potencia de un objetivo de magnetrón planar circular es generalmente de 1 ~ 25 W / cm2.

 

(2) La densidad de potencia de un objetivo de magnetrón plano rectangular es generalmente de 1 ~ 36 W / cm2.

 

(3) La densidad de potencia de un objetivo de magnetrón cilíndrico o un objetivo de magnetrón plano cónico (pistola S) es generalmente de 40 ~ 50 W / cm2.

 

2. El poder de carga real del objetivo Magnetron

 

La potencia de carga real del objetivo de magnetrón está estrechamente relacionada con las condiciones de enfriamiento y las condiciones de disipación de calor del objetivo, además de los factores tales como el proceso de bombardeo iónico, los requisitos de calidad de la película, etc. Los objetivos de Magnetron se pueden dividir en dos tipos: "refrigeración por agua directa del objetivo" y "enfriamiento por agua indirecta del objetivo", según el método de enfriamiento.

 

Teniendo en cuenta que las condiciones de disipación de calor del objetivo de bombardeo se deteriorarán después de un uso prolongado, la potencia máxima real del objetivo directo de enfriamiento de agua debería ser ligeramente menor que el límite superior del rango de densidad de potencia considerando la diferencia en el coeficiente de disipación de calor de diferentes materiales objetivo, así como la potencia de carga final del objetivo de magnetrón. La carga máxima real del objetivo indirecto de enfriamiento con agua puede seleccionarse de acuerdo con aproximadamente la mitad del límite superior del rango de densidad de potencia.

 

Cuando los objetivos de magnetrón (principalmente Cu, Ag, latón y bronce de Al) se autodesmenuzan, generalmente se utiliza un objetivo de magnetrón que está específicamente diseñado para "enfriar en agua al objetivo". La potencia de carga real cuando se utiliza debe ser mayor que el límite superior del rango de densidad de potencia objetivo (es decir,> 100 W / cm2 o más).