El conocimiento de mantenimiento y reparación de la bomba de difusión para la máquina de recubrimiento al vacío PVD

- Oct 18, 2018-

El conocimiento de mantenimiento y reparación de la bomba de difusión para la máquina de recubrimiento al vacío PVD

 

Las partes principales del revestimiento de vacío pueden funcionar en las mejores condiciones , lo que es muy importante para el mantenimiento y la reparación de la bomba de difusión de la máquina de revestimiento al vacío.

 

1. El agua de enfriamiento debe desbloquearse durante el funcionamiento de la bomba de difusión, y el agua de enfriamiento puede cerrarse después de que el fluido de trabajo de la bomba se haya enfriado completamente después de detener el calentamiento.

2. Cuando la bomba de difusión deja de funcionar, la bomba debe mantenerse en vacío para evitar el deterioro del aceite .

3. El gas bombeado debe estar seco, libre de corrosión y libre de polvo.

4. Si la bomba de difusión no se usa por el momento, debe mantenerse en un estado de vacío durante el almacenamiento para evitar la contaminación del aceite de la bomba y la corrosión de cada parte y para soplar el agua restante en el agua de refrigeración. Mantenga la temperatura ambiente entre 10 y 40 grados centígrados .

5. El rendimiento de la bomba de difusión se deteriorará gradualmente después de la operación a largo plazo y debe verificarse regularmente. Si el aceite de la bomba se reduce u oxida, repostar o reemplazarlo de acuerdo con los requisitos correspondientes; Las partes y las cámaras de la bomba se limpian con gasolina de aviación, se frotan con acetona y se secan a 80 a 100 grados Celsius o se secan con un secador de pelo. Después del tratamiento, ensamble en orden, mantenga el núcleo de la bomba y el fondo de la bomba perpendiculares a la cavidad de la bomba, y ajuste la holgura de la boquilla de acuerdo con los requisitos originales.

6. Cuando el agua se evapora y se seca, se instala el núcleo de la bomba, se agrega nuevo aceite de la bomba de difusión y se instala el cuerpo, se conecta la tubería de agua y se instala la placa del horno eléctrico, luego se puede volver a encender la bomba. .

7. Preste atención a la detección de fugas antes de volver a arrancar. El método es: arrancar la bomba de mantenimiento, cerrar la puerta y, después de varios minutos, observar el grado de vacío y verificar si la junta de sellado de fugas de la junta, o el anillo de sellado de aplastamiento. Elimine el riesgo de fugas de aire antes de calentar; de lo contrario, el aceite de la bomba de difusión se quemará y no podrá entrar en el estado de trabajo.

Bomba Molécula Compuesta TYFB-1600