Descripción general de la tecnología de extracción de equipos de vacío

- May 26, 2018-

En general, el vacío se obtiene por bombeo del sistema de vacío. De acuerdo con el grado requerido de vacío y limpieza, se usan diferentes sistemas de vacío. El sistema de vacío general se puede dividir en: sistemas de vacío bajo y medio, sistemas de alto vacío, sistemas de vacío ultra alto y sistemas de vacío extremadamente alto basados en el grado de vacío.


Estos sistemas de vacío consisten en diferentes bombas principales, sistemas auxiliares y otras partes de vacío correspondientes. El sistema de vacío medio y bajo consiste en una bomba mecánica o una bomba mecánica y una bomba de raíces. Para evitar la contaminación del aceite, también se puede instalar una trampa de tamiz molecular. Sin embargo, se debe evitar que las partículas sólidas del tamiz molecular sean absorbidas por la bomba mecánica durante la operación.


El sistema de alto vacío está compuesto principalmente por bomba de difusión, placa deflectora, trampa fría, válvula de compuerta, bomba mecánica y otras partes. La bomba principal también puede ser una bomba turbo molecular o una bomba criogénica. Para reducir aún más la contaminación por hidrocarburos, se puede usar una bomba iónica por pulverización junto con una bomba de sublimación de titanio y un deflector de baja temperatura para formar una unidad de succión de alto vacío sin aceite, cuya bomba de respaldo es una bomba de adsorción.


El signo más importante de los sistemas de vacío ultra alto y extremadamente alto es el alto grado de limpieza. Se puede obtener un vacío ultra alto y extremadamente alto mediante el uso de bombas de iones de alto rendimiento, bombas criogénicas, bombas turbo moleculares, trampas de frío y otras partes.


El encendido, apagado, operación, protección contra la contaminación cuando ocurre un fallo en los diversos sistemas de vacío, todos tienen requisitos estrictos. Y los operadores deben cumplir con los procedimientos operativos.


Por ejemplo, la bomba mecánica solo puede bombear la presión de 15Pa-20Pa o superior, de lo contrario, la contaminación del reflujo es grave. La bomba de difusión tiene una gran contaminación del vapor de aceite antes de la operación y durante 20 minutos después de dejar de funcionar, por lo que no debe conectarse a la cámara de vacío o trampa fría, por lo que la trampa fría debe aislarse de la cámara de vacío y después de nitrógeno eliminado y la temperatura se restablece, la bomba de alto vacío se puede detener. La bomba de adsorción debe estar equipada con un dispositivo de antipolución de presión para evitar accidentes después del recalentamiento.


Si no se puede obtener la aspiradora, primero es necesario verificar si el extractor de aire funciona correctamente y, en segundo lugar, verificar si hay una fuente de liberación de gas inadmisible. Ahora, tome el recipiente criogénico de aislamiento térmico multicapa. Las piezas de vacío deben someterse a una estricta limpieza, secado y detección de fugas antes del ensamblaje. También es necesario verificar si el anillo de sellado de la pieza extraíble está limpio y es bueno, si la superficie de sellado está rayada o no, o si la conexión es hermética.