Revestimiento de PVD de espesor e inspección.

- Dec 15, 2018-

Revestimiento de PVD de espesor e inspección.


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El grosor del recubrimiento se refiere a la superficie exterior del recubrimiento y la distancia a la superficie del sustrato debajo del recubrimiento, generalmente en 0 ~ 15um, hay muchos métodos de detección, los siguientes introducen la aplicación actual de los métodos más comunes: método de sección transversal, esférico Método de marcado y detección no destructiva.

1. método de sección

 

El método de la sección es un método de detección destructivo, la pieza de trabajo no se puede usar de nuevo. Probará la pieza de trabajo o la muestra a lo largo del corte de la sección de recubrimiento, bajo el microscopio 1000 ~ 10000 veces más grande para la medición, cuanto mayor sea el factor de ampliación, menor será el impacto de factores humanos, mayor es la precisión. El límite entre el recubrimiento y el sustrato es muy obvio y es conveniente medirlo por la escala en sem. La distancia entre los puntos inicial y final de la regla es el grosor del recubrimiento. la medición es precisa o no, es juzgar correctamente el límite entre el recubrimiento y el sustrato, de lo contrario traerá errores. Si la interfaz entre el recubrimiento y el substrato es borrosa, es mejor no utilizar este método de medición. En general, este El método de medición es intuitivo y preciso. Además, cuando este método se utiliza para la medición, es mejor observar la sección, que debería ser relativamente plana. De lo contrario, se debe llevar a cabo el procesamiento manual para que la sección sea incluso para observación y medición.

El espejo de aceite también se puede usar para observar la sección de revestimiento para la medición. La muestra cortada se coloca en polvo plástico para prensar, quemar y formar una muestra de bloque, y luego la superficie probada se muele y la superficie probada se muele y se nivela. Durante la medición, el aire bombeado desde el aceite se mide entre la lente del objetivo y la superficie medida para reducir la interferencia.

2. Ball-Crater

 

El método de marca de bola es usar un cierto diámetro de bola de acero en la superficie del pulido de recubrimiento, recubrimiento y matriz de molienda en un pozo, sección de instrumento de pulido de bola para un arco. Los requisitos de la operación de esmerilado son los mismos que los de la prueba de marca de bola, que mide la adhesión del recubrimiento. Después de moler la bola, la imagen se observa bajo el microscopio a través del sistema de imágenes y debajo del monitor.

La apariencia de la pieza de trabajo será dañada por el método de marca de bola. Si el punto de detección no está en el área funcional, generalmente no afectará su reutilización. Sin embargo, para evitar errores, es necesario analizar y obtener el consentimiento del propietario del artefacto antes de realizar pruebas con este método.

3. Ensayos no destructivos (NDT)

El método de prueba no destructiva es detectar el espesor del recubrimiento en la pieza de trabajo sin dañar la pieza de trabajo. Hay muchos tipos de métodos NDT, en general, las pruebas no destructivas deben proporcionar el sustrato y la composición de recubrimiento, o proporcionar una pieza de muestra de recubrimiento para analizar los datos de referencia, en la prueba, se medirá y la composición de la composición de recubrimiento se comparará con los bloques de muestra maestra para deduzca la teoría del espesor del recubrimiento, por lo que, para diferentes análisis de composición de sustrato y recubrimiento, realice el programa de medición y luego a la medición real. Por supuesto, algunos instrumentos se pueden medir directamente sin hacer bloques de muestra, pero el error es grande. Esta sección introduce principalmente la fluorescencia de rayos X (XRF).

 

El instrumento XRF está compuesto principalmente por una fuente de excitación de rayos X y un sistema de detección. El tubo de rayos X produce rayos basados en rayos X) (radiación o pieza de trabajo que debe medirse, cada elemento de la pieza a medir está motivado, se emiten rayos X secundarios y Los rayos secundarios emitidos por los diferentes elementos con características de energía específicas (es decir, de acuerdo con la característica de energía de los tipos de rayos secundarios y el contenido de los elementos pueden aprenderse). El sistema de detección mide la energía y la cantidad de estos rayos secundarios excitados. El software del sistema de detección convierte la energía y la información de la cantidad detectada en elementos y contenido correspondientes, de modo que el tipo y el contenido de los elementos en la pieza de trabajo bajo prueba pueden ser detectados. Usando el principio de fluorescencia de rayos X, todos los elementos de la tabla periódica pueden medirse teóricamente. En la aplicación práctica, el rango efectivo de medición elemental es del elemento 11, sodio (Na), al elemento 92, uranio (U).

 

De acuerdo con los principios anteriores, cuando se mide el espesor del recubrimiento de la muestra, XRF analiza la composición del elemento de la matriz y el recubrimiento, respectivamente. En general, la composición del elemento del recubrimiento es muy diferente de la de la matriz. Por lo tanto, el software de cálculo puede calcular el espesor del recubrimiento. Si la composición del elemento de varios sustratos y recubrimientos se detecta por adelantado por adelantado y se almacena en la base de datos de la computadora como estándar, cuando se detecta XRF, la composición del elemento detectado se compara con el estándar para encontrar la matriz y el tipo de recubrimiento correspondientes, y juzgar la interfaz entre el recubrimiento y el sustrato, para medir el espesor del recubrimiento con mayor precisión.