La causa de la película desigual por la máquina de recubrimiento por pulverización magnetrón al vacío

- Feb 14, 2019-

La causa de la película desigual por la máquina de recubrimiento por pulverización magnetrón al vacío

 

¿Cuáles son los factores que conducen a una máquina de recubrimiento por vacío de pulverización catódica de magnetrón desigual? El amigo que se dedica al trabajo de este respecto en realidad aún es un entendimiento comparativo, básicamente se puede dividir en los siguientes factores: condición de vacío, campo magnético, argón.

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La operación de la máquina de recubrimiento por vacío de pulverización magnetrón es que los iones de argón formados por bombardeo electrónico de argón son bombardeados por el campo magnético ortogonal bajo el estado de vacío, y los iones objetivo se depositan en la superficie de la pieza para formar una película.

 

En el estado de vacío, se requiere el sistema de bombeo para el control. Cada puerto de bombeo debe iniciarse simultáneamente y con la misma resistencia, de modo que la uniformidad del bombeo pueda controlarse bien. Si el bombeo no es uniforme, la presión en la cámara de vacío no puede ser uniforme, y la presión tiene cierta influencia en el movimiento de los iones. Además, el tiempo de bombeo debe ser controlado, demasiado corto causará una falta de vacío, pero demasiado largo y una pérdida de recursos, pero hay un indicador de vacío, no es un problema para controlar.

 

El campo ortogonal funciona, pero usted debe hacer una intensidad de campo magnético homogénea al cien por cien es imposible, generalmente el campo magnético fuerte, el grosor de la película es grande, lo opuesto es pequeño, lo que provocará que el grosor de la película no sea consistente, pero en el proceso de producción Debido a que el campo magnético causado por una película desigual no es común, ¿por qué?

 

La fuerza original del campo magnético no es buena, pero al mismo tiempo, la pieza está en funcionamiento al mismo tiempo, y es un extremo sedimentario del átomo objetivo para el proceso de recubrimiento muchas veces, las piezas durante un período de tiempo aunque son gruesas y partes delgadas, pero en otro momento, bajo la acción de un campo magnético fuerte en las partes delgadas del espesor sedimentario original, en el espesor de la parte de la capa delgada, muchas veces, después de la película final, la uniformidad de la película es buena.

 

La uniformidad del argón también afectará a la uniformidad de la película, cuyo principio es casi el mismo que el grado de vacío. Debido a la entrada de argón, la presión en la cámara de vacío cambiará, y la uniformidad de la presión se puede controlar en la uniformidad del espesor de la película de la máquina de revestimiento de vacío por pulverización magnetrón.