Lo diferente entre la evaporación con haz de electrones y el proceso de recubrimiento con esputo de magnetrón

- May 18, 2018-


1. Principio de recubrimiento diferente


Recubrimiento de evaporación con haz de electrones: el bombardeo de objetivos con haces de electrones de alta energía hace que la superficie del material se caliente a una temperatura muy alta, se sublima directamente del estado sólido a un estado gaseoso y se deposita en la superficie de la pieza de trabajo y formó la película delgada. se usa principalmente en óptica (como: película antirreflectante de gafas, lentes CCD, comunicación óptica, etc.).


Recubrimiento de magnetron sputtering: el proceso de los iones de alta energía que bombardean el objetivo y hacen que los átomos en la superficie del objetivo se separen se llama sputtering. Después del uso del campo magnético para controlar, los átomos chisporroteados o electrones secundarios quedan atrapados en la superficie del objetivo en forma de una rueda cicloide, de modo que se mantiene el brillo. El sputtering se usa principalmente con fines decorativos (como relojes, estuches de teléfonos móviles y otras superficies metálicas).


2. Diferente adhesión y efecto vinculante de la película


La adhesión del revestimiento del haz de electrones es pobre, pero la uniformidad de la capa de la película es buena; la energía de pulverización catódica del revestimiento de pulverización catódica es grande, y la adhesión al sustrato también es buena, pero la uniformidad de la capa de película es algo pobre.


El haz de electrones usualmente está equipado con un oscilador de cristal. Para un material ya calibrado, el efecto de control de 10 nm o menos es bueno. Por el contrario, la película pulverizada tiene partículas, y el grosor de 10 nm es difícil de lograr de manera precisa y controlable.


3. Diferentes materiales prácticos


El sputtering Magnetron tiene fuente de alimentación de RF, que se puede utilizar para aislar material o metal; sin embargo, los haces de electrones solo se pueden depositar en el metal.