La necesidad de detección de fugas al vacío y la fuente de gas que afecta el vacío del sistema

- Jun 30, 2018-


El sistema de vacío es necesario para obtener y mantener el estado de vacío. Si hay una fuga de aire grave, es un defecto importante del sistema. Por lo tanto, se necesita la detección de fugas de vacío relevante.

 

La transpirabilidad y la fuga son de naturaleza diferente. La transpirabilidad es el proceso de infiltración, difusión, paso y escape del gas desde un lado con una alta densidad hacia un lado con una densidad pequeña. Cualquier material tiene cierta permeabilidad. La fuga es un fenómeno en el que las moléculas de gas fluyen desde el lado de alta presión al lado de baja presión debido a defectos en el material mismo o porciones de sellado deficientes. En otro caso, la fuga no ocurre a temperatura ambiente, pero la diferencia en el coeficiente de expansión térmica en el momento del cambio de temperatura también puede causar fugas. La figura 1 es un diagrama esquemático de la fuente de gas que afecta el sistema de vacío.

 

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Fig.1 Diagrama esquemático de la fuente de gas que afecta el vacío del sistema

 

Estrictamente hablando, cualquier sistema de vacío tiene fugas de aire y la fuga de aire es absoluta. Se puede tolerar una cierta tasa de fuga para diferentes sistemas de vacío. Para la tecnología de vacío actual, la tasa de fuga permisible del sistema de vacío ultra alto es 1,33 × 10 -11 Pa.m 3 / s.

 

La detección de fugas al vacío se ha convertido en una parte indispensable de la producción y el uso de sistemas de vacío. El método de detección de fuga de vacío es variado, y los métodos más representativos son la detección de fugas con espectrómetro de masas de helio y el análisis de gases residuales con espectrómetro de masas cuadrupolar.