Problema de uniformidad de Magnetron Sputtering Film

- Jul 05, 2018-


La uniformidad de la película de magnetrón sputtering es un índice importante, por lo que es necesario estudiar los factores de influencia que afectan la uniformidad del sputtering de magnetrón para lograr mejores recubrimientos uniformes. Simplemente hablando, el chisporroteo del magnetrón se refiere a que los electrones hacen un movimiento en espiral alrededor de la superficie del objetivo bajo la restricción del campo magnético cerrado en un campo electromagnético ortogonal. Durante el movimiento, los electrones siguen golpeando el gas de trabajo (gas de argón) para ionizar una gran cantidad de iones de argón. Bajo el campo eléctrico, los iones de argón bombardean rápidamente al objetivo, y los iones atómicos (o moléculas) se depositan en el sustrato para formar una película delgada.


Por lo tanto, para lograr un recubrimiento uniforme, es necesario pulverizar uniformemente los iones (o moléculas) del átomo objetivo, lo que requiere que los iones de argón bombardeen uniformemente al objetivo. Como los iones de argón aceleran el bombardeo del objetivo bajo la acción del campo eléctrico, se requiere que el campo eléctrico sea uniforme. Los iones de argón se originan a partir de los electrones unidos por el campo magnético cerrado, y los electrones se golpean constantemente durante el movimiento, lo que requiere un campo magnético uniforme y una distribución uniforme de argón. Sin embargo, en dispositivos de pulverización catódica de magnetrón reales, estos factores son difíciles de ser completamente uniformes, y es necesario estudiar el efecto de su irregularidad sobre la uniformidad de la formación de la película. De hecho, la uniformidad del campo magnético y la uniformidad del gas de trabajo son los factores más importantes que afectan la uniformidad de la formación de la película. Gran campo magnético significa un gran espesor de película, y la dirección del campo magnético es también un factor importante que afecta la uniformidad. En términos de presión de aire, bajo una cierta presión, la película con una gran presión de aire tiene un gran espesor.


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