¿Cuáles son los requisitos técnicos y estructurales para la máquina de recubrimiento al vacío por evaporación?

- Jan 29, 2019-

¿Cuáles son los requisitos técnicos y estructurales para la máquina de recubrimiento al vacío por evaporación?


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I. requisitos de estructura

 

1, la estructura del equipo debe tener un diseño razonable, una forma hermosa, fácil de operar, fácil de mantener.

2. La estructura y el tamaño de los sellos estáticos y dinámicos en el equipo deben cumplir con las disposiciones de GB / T 6070 y JB / T 1090 ~ 1092.

3. Se instalará un medidor de vacío en las tuberías de vacío bajo y alto y en la cámara de recubrimiento para medir la presión de cada parte por separado.

4. Si la unidad de vacío del equipo está dominada por la bomba de difusión, debe instalarse un deflector o pozo frío en la entrada de la bomba de difusión.

5, la sala de recubrimiento debe tener una ventana de observación, para el proceso de recubrimiento del equipo de radiación, la ventana de observación debe estar equipada con lentes anti-rayos.

6, con el equipo de horneado de piezas, debe haber un electrodo de medición de temperatura o un dispositivo de medición de temperatura.

7, la velocidad de rotación del mecanismo de rotación del marco de la pieza de trabajo debe cumplir con los requisitos del diseño del producto.

8. El equipo equipado con un dispositivo de bombardeo de iones o un dispositivo de fuente de iones de haz de baja energía de haz ancho podrá funcionar normalmente y de manera estable durante más de 30 minutos dentro de los parámetros especificados en los requisitos de diseño del producto.

9. El calentador con cable de tungsteno como fuente de calor de evaporación debe poder normalizar la evaporación del material de evaporación y, en el proceso de evaporación, la geometría del calentador no debe afectar la evaporación normal.

10. La fuente de evaporación del equipo debe ser estable y fácil de ajustar y controlar. Los requisitos técnicos para diversas fuentes de evaporación (como las fuentes de evaporación por resistencia, las fuentes de evaporación por haz de electrones, las fuentes de evaporación por haz de iones, las fuentes de evaporación por láser, las fuentes de evaporación inductiva, etc.) deben especificarse de acuerdo con las normas de producto pertinentes.

11. Cuando el equipo adopta una fuente de evaporación de baja tensión y alta resistencia a la corriente, cada calentador de la fuente de evaporación funcionará normalmente en el estado de tensión 4V ~ 20V y corriente 50A ~ 180A.

 

Yo Requisitos de fabricación

1. La calidad de mecanizado, la calidad de soldadura y la calidad de montaje de las piezas y componentes del equipo deberán cumplir con las disposiciones de los documentos técnicos del fabricante.

2. Rugosidad El valor Ra de la superficie interior del revestimiento del equipo y la superficie de sellado no debe ser mayor a 1.6um, y todas las superficies en estado de vacío deben limpiarse y secarse de manera efectiva al vacío. Todas las partes giratorias, el mecanismo de elevación y otras acciones deben ser flexibles, no atascadas, estancadas, sueltas, temblores y fenómenos de sonido anormales, etc.

3. Los materiales de las partes y componentes principales del equipo deben cumplir con las normas de materiales pertinentes.

4. La calidad de los dispositivos eléctricos de soporte debe cumplir con los documentos técnicos del fabricante y garantizar la seguridad y confiabilidad del equipo en operación y operación.

5. La calidad de apariencia del equipo debe estar libre de requisitos no funcionales, como esquinas afiladas, bordes, protuberancias y superficies ásperas. El borde de la superficie de la junta de las piezas debe estar limpio e incluso sin dislocación obvia. Las partes metálicas deben ser sólidas revestimiento, no se caiga y se oxida y otros fenómenos, todas las partes fuertes deben ser de capa de óxido. La superficie del revestimiento del equipo debe ser brillante y limpia, hermosa, firme, sin desprendimiento, desprendimiento y otros fenómenos.

6. Los productos auxiliares adquiridos del equipo deben cumplir con las normas de producto correspondientes y deben tener certificados de calidad. Los productos auxiliares de fabricación propia del equipo solo pueden usarse después de pasar la inspección por el departamento de inspección del fabricante.

7. Se deben llevar a cabo varias fuentes de evaporación, fuentes de iones auxiliares y bombardeo de iones, rotación de piezas, horneado de piezas, sesgo de piezas, monitoreo de espesor de película y otros dispositivos en el equipo. Deben realizarse la depuración artículo por elemento y la depuración de articulaciones. calentada a la temperatura nominal, la temperatura de la superficie exterior del vacío no debe ser superior a 45 grados, y la parte móvil del equipo debe funcionar normalmente.