Aplicación y mantenimiento de la pistola de electrones | clasificación | Parámetro básico

- Mar 23, 2019-

Aplicación y mantenimiento de la pistola de electrones | clasificación | parámetro básico

 

Pistola de electrones

电子枪1

El cañón de electrones es el dispositivo que emite y acelera el haz de electrones. Emite un haz de electrones con cierta energía, cierta intensidad de corriente, cierto diámetro de haz y cierto ángulo de emisión en el tubo acelerador. Los cañones de electrones utilizados para proporcionar haces de electrones para aceleradores de electrones generalmente se dividen en emisión térmica y emisión de campo.

 

Clasificación

 

A. De acuerdo a la forma del haz de electrones.

1. Cañón de electrones paralelo.

2. Cañón de electrones convergente axisimétrico.

3. Pistola de electrones convergente simétrica planar.

 

B. Por el número de electrodos.

1. Arma de dos polos

2. Arma de tres polos

 

·          Parametros basicos

1. El coeficiente de conductividad P

representa el tamaño de la carga espacial del haz de electrones.

2. Emisión épsilon.

Caracterizando la calidad de la inyección electrónica.

3. Brillo B

Intensidad del haz por unidad de área y por unidad de ángulo sólido

4. Tenga en cuenta la cintura rm

Rmin es el radio en el radio de la sección más pequeña en la inyección de electrones.

5. Relación de compresión M2

La relación entre el área del cátodo y el área de la sección transversal del haz del cátodo es también la relación de la densidad de corriente media Jm del haz de cintura y la densidad de la corriente promedio Jk del haz del cátodo.

6. Disparo Zmin

El rango representa la distancia entre la cabeza del ánodo de la pistola y la cintura del haz.

·          7. Laminaridad

 

·          Aplicación y mantenimiento

1. Trate de operar en un alto grado de vacío para reducir la anti-detonación y oxidación de iones, evite la "intoxicación" del cátodo y mejore la vida útil del cátodo y el termión.

2. La corriente theron de la pistola de electrones se agrega paso a paso al valor de clasificación (la fábrica lo ha configurado). Debido a la baja temperatura de la resistencia de theron, la corriente, para prevenir una gran corriente repentina, quema el theron.

3. Reduzca la temperatura de trabajo del cátodo en la medida de lo posible bajo la condición de cumplir con la dosis.

4. El cátodo se conectará con "alto voltaje negativo" para evitar que el alto voltaje golpee y dañe el elemento térmico.

5. Para la "pistola controlada por la red", la polarización negativa de la puerta se conecta primero, luego se precalienta el filamento y se agrega el alto voltaje negativo del cátodo después del precalentamiento, y finalmente se conecta el pulso de la puerta.

 

Cátodo

El cátodo es una de las partes clave de la pistola de electrones. En la actualidad, el cátodo del cañón de electrones utilizado en el acelerador lineal de electrones en el mundo tiene varias formas, que se pueden dividir en dos métodos:

El cátodo de calentamiento directo utiliza principalmente tungsteno puro como material del cátodo, y la corriente de calentamiento pasa directamente a través del cátodo. Los cátodos intertermales generalmente usan torio-tungsteno, óxidos, sal de escandio y cátodos de hexaboruro de lantano, que pueden dividirse en dos tipos: tipo de bombardeo y tipo de calentamiento.

 

1. Tipo de bombardeo: el método de calentamiento es agregar cientos o incluso miles de voltios al voltaje de bombardeo entre el theron (filamento) y el cátodo. Bajo este voltaje, los electrones emitidos desde el theron bombardeando el cátodo emitirán una gran cantidad de electrones desde su superficie después de que el cátodo se calienta a una cierta temperatura.

 

2, tipo de calefacción: este cátodo, la capa compuesta se fija en una base de pared delgada (tubo de níquel o tubo de molibdeno), la base bajo el aislamiento térmico del alambre de tungsteno en espiral. La corriente fluye a través del filamento, que calienta el cátodo. Cuando el cátodo alcanza la temperatura a la que emite electrones, los emite.


IKS PVD, utilice la tecnología avanzada de pistola HCD / electrónica para hacer la máquina de recubrimiento PVD, cualquier duda sobre la tecnología de recubrimiento PVD, bienvenido póngase en contacto con nosotros ahora, iks.pvd@foxmail.com

微信图片_20190321134200