Corriente de arco, temperatura, voltaje de polarización y fuerza de unión

- Aug 19, 2019-

Una corriente rc, temperatura, voltaje de polarización y fuerza de unión

 

1. La corriente de arco

Cuando la corriente de arco es baja, el número de iones es pequeño, la cantidad de energía es baja, la velocidad de nucleación es baja y la estructura no es densa. Para cubrir toda la matriz, los átomos de la capa de película deben dispersarse a largo plazo.

 

Con el aumento de la corriente de arco, aumenta el número de iones en la capa de membrana, aumenta la energía y aumenta la densidad del tejido. Los átomos de la película no necesitan difusión de largo alcance para cubrir toda la matriz, y los granos de la película son pequeños y la fuerza de unión con los átomos en la superficie de la matriz es alta.

 

La corriente de arco continúa aumentando, la superficie de la película parece tener muchas gotas de líquido, la resistencia de la película, la dureza disminuye, la adhesión de la película disminuye .

 

Nota: el llamado tamaño de corriente de arco aquí debe basarse en la corriente de arco emparejada con el equipo como referencia, el campo magnético, el enfriamiento, el sistema objetivo, etc., la corriente apropiada emparejada con ella no es la misma. No hay información detallada correspondiente, y los valores dados son solo para referencia.

 

2. La temperatura

 

Cuando la temperatura de deposición es baja, la actividad atómica de la capa de película es baja, la velocidad de nucleación es baja, la compacidad es pobre, la cavidad de contracción es mayor, la tensión interna es baja, la adhesión es baja.

 

Con el aumento de la temperatura, se mejora la actividad atómica de la capa de película, la capacidad de difusión es fuerte, la velocidad de nucleación aumenta, la densidad es alta, la cavidad de contracción es pequeña, la tensión interna es baja, la fuerza de unión es alta.

 

La temperatura continúa aumentando, excediendo la temperatura de templado de la matriz. A medida que disminuye la dureza de la matriz, no puede desempeñar un papel de soporte fuerte en la película, lo que conduce a la reducción de la fuerza de adhesión de la película.

 

Pregunta: si la temperatura del temple de la matriz es lo suficientemente alta, ¿continuará aumentando la fuerza de unión?

 

3. El sesgo

 

Con el aumento del voltaje de polarización, los iones depositados tienen un fuerte efecto de bombardeo sobre los átomos en la superficie del sustrato, formando una capa de pseudodifusión y mejorando la adhesión de la película. En el proceso de formación de la película, el bombardeo continuo de la película por partículas de alta energía reduce el tamaño de grano de la película y aumenta la densidad de nucleación, lo que hace que la película continúe formando una película en condiciones relativamente delgadas, mejorando así la fuerza de unión. .

 

Un voltaje de polarización excesivo conducirá a un sobrecalentamiento del sustrato, un estrés excesivo en la interfaz con el sustrato cuando se depositan iones de alta energía, y la acción anti-chisporroteo reducirá la fuerza de unión de la película.

 

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