Características y clasificación de las unidades de vacío ultra alto

- Dec 13, 2018-

Características y clasificación de unidades de ultra alto vacío.

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Las unidades de vacío ultraalto que funcionan a más de 10 -5 pa tienen bomba de difusión, unidades de ultra alto vacío de bomba molecular y unidades de vacío ultraalto sin aceite. Las unidades tienen las siguientes características:

 

1. Alto grado de vacío final de la bomba principal, 10 -7 ~ 10 -8 pa arriba;

2. Puede soportar la alta temperatura de cocción de 200 ~ 450 ;

3. La presión parcial del gas de retorno en la bomba principal es muy baja;

4. Para la selectividad de gas bombeado de la bomba principal, que se equipará con una bomba auxiliar lo suficientemente grande;

5. Los requisitos de la cámara de vacío, la tubería, la válvula y otros componentes de la tasa de salida del material son muy bajos, la tasa de fugas es muy pequeña.

(1) Bomba de difusión ultra alta unidad de vacío

La bomba de difusión como bomba prioritaria en la unidad de vacío final, el grado de vacío ultra alto es de 10-7 ~ 10-8 pa.

Para reducir desde la bomba de difusión antes del nivel de difusión de gas y bloquear el efecto anti-difusión del aceite de la bomba mecánica en el vacío final, pero frente al nivel de la bomba de difusión, escriba una pequeña velocidad de bombeo de la bomba de difusión, para reducir la relación de compresión, reducir la difusión Al igual que en la entrada de la bomba de difusión, agregar la sublimación de titanio mucho más arriba puede reducir aún más la presión parcial de nitrógeno de la bomba de difusión, y puede obtener un vacío ultra alto de 10 a 11 pa .

(2) Bomba molecular de ultra alta unidad de vacío.

La unidad de vacío ultraalto con bomba molecular como la bomba principal tiene un grado de vacío máximo de 10-8pa, que se caracteriza por un arranque rápido y una pequeña contaminación por aceite. Además, se puede agregar un pozo frío de nitrógeno líquido a la unidad para aumentar la velocidad de bombeo. Se puede colocar un pozo de agua fría en la salida de la bomba mecánica para evitar que el vapor de aceite ingrese al sistema .

(3) Unidad de ultra alto vacío sin aceite

Las unidades de vacío que no usan aceite como fluido de trabajo y no están selladas con materiales orgánicos son conocidas como las bombas principales que se usan comúnmente en las unidades de vacío ultraalto sin aceite, como las bombas criogénicas, las bombas de titanio, las bombas de ión catiónico, etc. que puede obtener el máximo grado de vacío de 10 -7 ~ 10 -8 pa. En comparación con las unidades de vacío que contienen aceite, tiene las siguientes ventajas:

1) se puede obtener vacío limpio sin fuentes de contaminación;

2) Cuando se enciende la bomba de vacío sin aceite, la bomba de pre-bombeo se puede aislar;

3) Si el bombeo se detiene repentinamente, el sistema no se contaminará;

4) Sin aceite, sin vibraciones, mejorar el ambiente de trabajo;

5) Alto límite de vacío, alta velocidad de bombeo, corto tiempo de bombeo.