Estructura detallada de la máquina de recubrimiento al vacío

- Mar 02, 2019-

Estructura detallada de la máquina de recubrimiento al vacío

 

La máquina de revestimiento de alto vacío, máquina de revestimiento es el equipo más utilizado en la producción de condiciones de vacío. Sus componentes relacionados: bomba mecánica, bomba de refuerzo, bomba de difusión de aceite, bomba de condensación, sistema de medición de vacío.

A continuación presento la composición y el principio de trabajo de cada parte en detalle.

设备1

1. Cuerpo principal de vacío - cámara de vacío

 

De acuerdo con los diferentes requisitos de procesamiento de productos, el tamaño de la cavidad de vacío no es el mismo, el más utilizado actualmente es 1.3M, 0.9M, 1.5M, 1.8M, etc., la cavidad hecha de material de acero inoxidable, no es óxido, sólido, etc., cada parte de la cavidad de vacío tiene una válvula de conexión, que se utiliza para conectar la bomba.

 

2. Sistema de bombeo auxiliar.

 

El sistema de escape se compone de "bomba de difusión + bomba mecánica + bomba de raíces + trampa de frío a baja temperatura + policoldaje"

 

El flujo de escape es el siguiente: la bomba mecánica primero bombea la cámara de vacío a un estado de bajo vacío de menos de 2.0 * 10-2pa, lo que proporciona la premisa para que la bomba de difusión bombee el vacío. Más tarde, cuando la bomba de difusión bombea la cámara de vacío, la bomba mecánica y la bomba de difusión de aceite forman una serie para completar la acción de bombeo de esta manera.

 

El sistema de escape es una parte importante del sistema de vacío de la máquina de recubrimiento. Se compone principalmente de bomba mecánica, bomba de refuerzo (bomba de raíces principalmente introducida) y bomba de difusión de aceite.

 

Bomba mecánica: también conocida como la bomba de etapa delantera, la bomba mecánica es una de las bombas de bajo vacío más utilizadas, es aceite para mantener el efecto de sellado y se basa en métodos mecánicos para cambiar constantemente el volumen de la cavidad de succión en la bomba. de modo que el volumen del gas en el contenedor bombeado se expande constantemente para obtener vacío.

 

Hay muchos tipos de bombas mecánicas, comúnmente utilizadas con el tipo de válvula deslizante (esto se usa principalmente en equipos grandes), pistones alternativos, tipo de cuchilla fija y giratoria (este es el más usado, este papel se presenta principalmente) cuatro tipos.

 

La bomba mecánica se usa a menudo para eliminar el aire seco, pero no se puede eliminar. El contenido de oxígeno es demasiado alto, explosivo y corrosivo, la bomba mecánica generalmente se usa para eliminar el gas permanente, pero no tiene un buen efecto en el agua, por lo que no se puede eliminar el agua. gas. La bomba de paletas rotativa desempeña un papel importante en las partes del estator, rotor, metralla, etc., el rotor en el estator, pero diferente de los mandeles del estator, como dos círculos inscritos, ranura del rotor con dos piezas de metralla, dos piezas de metralla con un resorte en el medio, para asegurar que la metralla se adhiera firmemente a la pared del estator.

 

Sus dos esquirlas juegan alternativamente dos funciones, por un lado, desde la entrada de aire al gas, por otro lado, se comprime en el gas, la bomba de descarga de gas. Cada rotación del rotor, la bomba completó dos aspiraciones y dos de escape. Cuando la bomba gira continuamente en el sentido de las agujas del reloj, la paleta giratoria bombea continuamente a través del gas de admisión de la entrada de aire, y de forma continua desde el escape del exterior de la bomba, para lograr el propósito del bombeo del contenedor. Con el fin de mejorar la bomba de vacío limitadora, el estator de la bomba empapado en aceite, y en todas partes en la separación del espacio dañino a menudo mantiene suficiente aceite en el interior, llena el vacío, por lo que la lubricación del aceite, por un lado, por otro lado y sella y la brecha del tapón y el efecto dañino del espacio, evitan que la molécula de gas revierta el flujo a través de varios canales a la baja presión del espacio.

 

La bomba mecánica se inicia a partir del trabajo en la atmósfera, su parámetro principal tiene el límite de vacío, la velocidad de bombeo, esto para el diseño y selecciona la bomba mecánica de forma importante. La bomba de una etapa puede bombear el contenedor desde la atmósfera hasta el vacío límite de 1.0 * 10-1pa, la bomba mecánica de doble etapa puede bombear el contenedor de la atmósfera a 6.7 * 10-2 pa, o incluso más.

 

La tasa de extracción se refiere al volumen de gas que se puede descargar por unidad de tiempo cuando la bomba de paletas rotativa funciona de acuerdo con el número de revoluciones nominal, que puede calcularse mediante la siguiente fórmula

 

Sth = 2nVs = 2nfsL

 

Fs representa el área seccional de la cavidad espacio-temporal al final de la inspiración, L representa la longitud de la cavidad, el coeficiente representa el proceso de escape del rotor dos veces en cada ciclo de rotación, Vs representa el final de la inspiración cuando el el rotor está en la posición horizontal, el volumen en la cavidad espacio-temporal es el más grande y la velocidad de rotación es n.

 

El efecto del escape de la bomba mecánica con la velocidad del motor y la holgura de las correas tienen relación, cuando la correa del motor está suelta, la velocidad del motor es lenta, el efecto del escape de la bomba mecánica empeorará, a menudo para mantener, el recuento , también es necesario revisar a menudo el sello de aceite de la bomba mecánica, el aceite es demasiado pequeño, no puede alcanzar el efecto de sellado, dentro de la fuga de la bomba, demasiado aceite, el orificio de succión obstruido, la inspiración y el escape, generalmente, 0,5 cm en el nivel de aceite en El desconectado.

 

Bomba turbo / bomba de raíces: debe tener un par de bombas mecánicas de rotación de alta velocidad sincrónica de doble hoja o rotor lobulado, ya que funciona igual que el soplador de raíces, por lo que también se puede llamar bomba de vacío de raíces, la bomba en el rango de 100-1 mpa velocidad de extracción de presión en gran medida, compensa la capacidad de escape de la bomba mecánica insuficientes deficiencias en este ámbito, la bomba no puede comenzar a trabajar desde la atmósfera, no tiene descarga directa de la atmósfera, su función es solo para aumente la presión diferencial entre la entrada y la salida, se necesita completar el resto de la bomba mecánica, por lo tanto, debe coincidir con la bomba mecánica como la bomba de respaldo.

Bomba mecánica en el uso del proceso, debe prestar atención a las siguientes cuestiones:

1, bomba mecánica para ser instalada en un lugar limpio y seco.

2, la bomba en sí misma para mantenerla limpia y seca, el aceite de la bomba tiene un sellado y lubricación, por lo que debe agregarse de acuerdo con la cantidad especificada.

3, para reemplazar regularmente el aceite de la bomba, el reemplazo debe ser descargado antes del aceite de desecho, ciclo por lo menos de tres meses a seis meses para reemplazar una vez.

4. Conecte los cables de acuerdo con las instrucciones.

5, antes de que la bomba mecánica deje de funcionar para cerrar la válvula de admisión, luego la falla de energía y abrir la válvula de aire, el aire en la bomba a través de la entrada.

6, durante el trabajo de la bomba, la temperatura del aceite no puede exceder los 75 grados centígrados, de lo contrario, la viscosidad del aceite es demasiado pequeña y conduce a un sellado laxo.

7, o verifique la hermeticidad de la correa de la bomba mecánica, la velocidad del motor, la velocidad del motor de la bomba de raíces y el efecto de sellado del anillo de sellado.

 

Bomba de difusión de aceite: el vacío límite de la bomba mecánica es de solo 10-2 pa, al alcanzar 10-1 pa, la velocidad de bombeo real es solo 1/10 de la teoría. Si desea obtener un alto vacío, debe usar la difusión de aceite. bomba.

 

Dado que la bomba de difusión de aceite es la primera bomba utilizada para obtener un alto vacío, es barata, fácil de mantener y ampliamente utilizada, por lo que este documento se centrará en la discusión.

 

El rango de presión de aplicación de la bomba de difusión de aceite es 10-1 -10-7 pa, es el uso del fenómeno de difusión de gas para el escape, tiene una estructura simple, fácil de operar, la velocidad de bombeo es grande (la más alta puede alcanzar 10 + 5 l / s) y otras caracteristicas. La bomba de difusión de aceite está compuesta principalmente por la carcasa de la bomba, la boquilla, el tubo de desviación y el calentador. La bomba de difusión de aceite (d-704 # en Japón) se agrega principalmente en el interior. De acuerdo con el número de boquillas, se puede dividir en bomba de una etapa y bomba de múltiples etapas.

 

En la parte inferior de la bomba de difusión se almacena el aceite de la bomba de difusión. La parte superior es la entrada de aire, y la parte inferior en el lado derecho es la salida de aire. Durante la operación, la salida de aire está provista de la presión de preposición de la bomba mecánica y la bomba mecánica ACTS como la bomba de preposición.

 

Cuando el aceite de la bomba de difusión se calienta en el horno eléctrico, el vapor de aceite producido proporciona la presión de precarga, y la bomba mecánica actúa como la bomba de precarga. Cuando el aceite de la bomba de difusión se calienta en el horno eléctrico, el vapor de aceite se emite por la tubería a través de la boquilla de paraguas. Debido a que hay un vacío de 1-10-1 pa provisto por la bomba mecánica fuera de la boquilla, el vapor de aceite puede ser expulsado por una cierta distancia, formando un flujo de chorro en la dirección de la salida de aire. Finalmente, el chorro se encuentra con la pared de la bomba enfriada por agua de refrigeración, se condensa en líquido y fluye de regreso al evaporador, es decir, se evapora, inyecta, condensa y circula repetidamente para realizar la extracción de aire.

 

Por las moléculas de gas en la entrada de aire en la bomba, una vez que cayó en el flujo de vapor, disminuye el impulso del movimiento hacia abajo, debido al chorro de alta velocidad (200 m / SEC), la alta densidad del vapor y la bomba de difusión de aceite con alto peso molecular (300-500), puede tomar moléculas de gas de manera efectiva, por lo que, dentro de la interfaz del chorro, las moléculas de gas no pueden quedar atrapadas durante mucho tiempo, y el chorro fluye en ambos lados de la interfaz Es que la concentración del gas de humo es muy mala, solo debido a esta diferencia de concentración a través de la interfaz de acción en la difusión del gas de humo al chorro, se llevó a la salida y, a la salida, a la bomba mecánica.

 

La presión de vapor de aceite de la bomba de difusión es un factor importante para determinar el vacío final de la bomba.

 

La bomba de difusión no se puede utilizar para el bombeo solo, los requisitos generales de la presión máxima de salida de la bomba son 40 pa. La victoria de bombeo de la bomba de difusión está programada para el primer nivel de la boquilla y el cuerpo de la bomba de diámetro de entrada, el tamaño del área circular entre la velocidad de bombeo no es un valor constante, sino que varía con la presión de entrada de aire, cuando la presión es de 2 ~ 10 -10-3, la velocidad de succión de la bomba de difusión es la más rápida, cuando la presión es inferior a 5 * 10-4 mpa, la velocidad de succión de la bomba de difusión mínima, casi sin capacidad de succión (en este punto, la presión de entrada es mayor debido a su La alta densidad del aire hace que el colector de vapor se convierta en un chorro de alta velocidad para bloquear la difusión del aire, por lo que la velocidad de bombeo hacia abajo).

 

La bomba de difusión debe limpiarse antes de la instalación, y luego se puede cargar el aceite de difusión. Antes de calentar el aceite, primero debe aspirarse la bomba y el aceite de la bomba de difusión debe enfriarse a 60 ~ 70 grados Celsius antes de que la máquina se apague. Luego, el gas de escape de la etapa delantera se puede cerrar, y finalmente el agua de refrigeración se puede cerrar.

 

Debido a que la bomba de difusión de aceite no puede poner fin a la posibilidad de retorno de aceite, no hay manera de garantizar productos de precisión 100% puros, especialmente en la industria de los semiconductores, por lo que existe una "bomba de condensado de alto vacío + bomba mecánica de bajo vacío" El sistema de vacío sin aceite, compuesto por el sistema de escape de la bomba de condensado compuesto no solo por la eficiencia del escape es muy alto, y garantiza efectivamente la limpieza de la cámara de vacío, garantiza la calidad del producto (para evitar productos contaminados, mejora la adherencia entre el recubrimiento y el sustrato), pero sus costos de mantenimiento son muy altos y caros, por lo que no hay una bomba de difusión de aceite ampliamente penetrante.

 

Bomba de condensación de baja temperatura: es un tipo de bomba que condensa las moléculas de gas en la superficie de baja temperatura para realizar el bombeo.

 

El principio de funcionamiento de la bomba de condensación: es principalmente la condensación, el atrapamiento en frío y la adsorción física a baja temperatura del gas en la superficie de baja temperatura.

 

Condensación criogénica: el helio líquido o el ciclo de refrigeración se utilizan para enfriar de acuerdo con las características de varios gases.

 

Trampa fría: es el fenómeno de que el gas no condensable queda atrapado por el gas condensable. Por lo general, los gases como el dióxido de carbono, el vapor de agua, el nitrógeno y el gas comprimido primero forman escarcha y luego forman una capa de adsorción en la superficie de baja temperatura, a fin de lograr el propósito de adsorber otros gases. Esta es la razón por la que el efecto de la bomba criogénica en la eliminación de gas mixto es mejor que el de un solo gas.

 

Adsorción a baja temperatura: se refiere a la adsorción de gas por el adsorbente en la superficie de baja temperatura. Debido a la fuerte interacción entre el adsorbente y las moléculas de gas, la presión de vapor puede ser más baja que la presión de vapor de saturación a la temperatura de la superficie de la condensación. El adsorbente suele ser carbón activado.

 

La tasa de bombeo de la bomba de condensación y la tasa de bombeo que afecta a la bomba de condensación están relacionadas con el tamaño del área de la superficie de condensación. Según los datos, la tasa de bombeo por unidad del área de la superficie de condensación es de 11,6 l / s. Además, la geometría de la superficie de adsorción y la ubicación del carbón activado, la estructura de partículas de carbón activado, los materiales de unión y el proceso de unión tienen un gran impacto en la velocidad de bombeo. En segundo lugar, la clave es que la capacidad de refrigeración del refrigerador sea lo suficientemente grande .

 

Indicador de vacío: el indicador de vacío es una parte importante de la máquina de revestimiento al vacío, es un medio importante para probar el grado de vacío de la máquina de revestimiento. El indicador de vacío se puede dividir en un indicador de vacío absoluto y un indicador de vacío relativo de acuerdo con su principio de funcionamiento. El indicador de vacío absoluto puede medir directamente el nivel de presión, mientras que el indicador de vacío relativo solo puede medir indirectamente el grado de vacío.

 

Este artículo presenta principalmente los siguientes medidores de vacío que se utilizan comúnmente en la máquina de recubrimiento:

Medidor de vacío de resistencia (también conocido como medidor de vacío pirani):

 

Está compuesto principalmente por cable eléctrico de calefacción, carcasa y soporte, principalmente debido a la baja presión, la conductividad térmica del gas es proporcional a la presión de la forma de trabajar. La abertura anterior está conectada con el sistema de vacío bajo prueba. El alambre caliente está hecho de alambre de metal con una alta resistencia al coeficiente de temperatura. Los dos cables de soporte están conectados con la línea de medición. Cuando la presión disminuye, la pérdida de calor a través de la conducción de calor del gas disminuye. Por lo tanto, cuando la corriente de calentamiento del cable caliente es estable, la temperatura del cable caliente aumenta y la resistencia del cable caliente aumenta. La presión se mide indirectamente midiendo la resistencia del alambre caliente.

 

Este es el principio de funcionamiento del medidor de vacío de resistencia, el rango de medición del medidor de vacío es: entre los 100-10-1 mpa, están los modelos WP - 02 utilizados en la actualidad .

 

Manómetro de vacío controlado magnéticamente:

Cómo funciona: al comienzo de la descarga, debido al espacio, los electrones libres del movimiento del ánodo bajo el efecto del campo electromagnético ortogonal, la trayectoria del electrón no es una línea recta sino espiral, y debido a que el ánodo es un marco, por lo que la electrónica No se encontró por primera vez el ánodo, sino a través del ánodo, y el rechazo por parte del cátodo, y después del retorno. Esto puede repetirse muchas veces en el ánodo. A medida que la ruta de los electrones se alarga considerablemente, el número de moléculas que chocan y se ionizan aumenta, de modo que la descarga (también llamada descarga de penetración) se mantiene a una presión relativamente baja (por debajo de 10-4 pa).

En la actualidad, más modelos incluyen PKR251 y gi-pary.

 

Indicador de vacío del tubo de descarga: dos electrodos metálicos están sellados en el tubo de vidrio y se le agrega un alto voltaje de CC de varios miles de voltios. La descarga autosostenida se puede causar dentro de un cierto rango de presión (1 * 10-3 ~ 2 * 10 soportes). El grado de vacío puede ser determinado por el color de descarga.

 

Hasta ahora, este tipo de medidor de vacío se ha utilizado raramente debido a su gran error, fácil daño y corta vida útil.

 

3. Sistema de evaporación.

 

El sistema de evaporación se refiere principalmente al dispositivo formador de película. Hay muchos dispositivos formadores de película en la máquina de recubrimiento, incluidos el calentamiento por resistencia, la evaporación de la pistola de electrones, la pulverización magnetrónica, la pulverización catódica, la deposición de iones, etc. Presentaré los dos métodos de calentamiento por resistencia y la evaporación de la pistola de electrones, porque utilizo estos dos métodos. Más.

 

De acuerdo con su estructura y principio de funcionamiento, la evaporación por resistencia es, con mucho, el método de evaporación más ampliamente utilizado y también el que tiene el tiempo de aplicación más prolongado. La forma en que funciona es que el tungsteno como un barco, y luego se instala en medio de los dos electrodos, en el medio del bote de tungsteno con hierbas, de nuevo lentamente a la corriente del electrodo, corriente a través del tungsteno, calefacción eléctrica de bote de tungsteno, el bote de tungsteno de baja tensión y alta corriente genera calor, alto punto de fusión y transferencia de calor al material de recubrimiento, cuando la cantidad de calor del bote de tungsteno es mayor que el punto de fusión del material de recubrimiento, sublimación del material o vaporización, este método se debe a De fácil operación, estructura simple, bajo costo, también se usa una gran cantidad de equipos, pero la evaporación de la película delgada debido a la baja densidad, además de una gran cantidad de material no puede usarse de esta manera, por lo que tiene ciertas limitaciones. El material de recubrimiento por evaporación del bote de tungsteno, el punto de fusión del material debe ser menor que el punto de fusión del bote de tungsteno, de lo contrario no hay forma de realizarlo.

 

La evaporación con pistola de electrones es el método de evaporación más utilizado hasta ahora. Puede evaporar cualquier tipo de material de recubrimiento. Su modo de trabajo es: revestimiento de material en el crisol, fuente de evaporación en forma de filamento, usando un gabinete de control especial, el filamento con una corriente fuerte, alto voltaje, debido a que el material es filamento de tungsteno, por lo que estará caliente, en el end se lanzará electrónicamente, y la adopción de un cierto campo magnético se reunirá en una cierta forma, y al dibujar en el crisol, se formará un rayo, debido a que la temperatura del electrón es muy alta, puede fundir cualquier material de recubrimiento, ya que los materiales de recubrimiento es después de la fusión del haz de electrones (parte del material está directamente sublimado), hierbas medicinales de moléculas (átomos o iones) en un vacío en movimiento lineal, luego se encuentra con el tablero base y luego se condensan. Después de esta forma de crecimiento, se forma una película. ! Los más utilizados son el ángulo de desviación del haz de electrones en 270 grados, o el cañón de electrones de línea e con la trayectoria de e o el haz de electrones con una trayectoria de 180 grados, y el cañón de electrones de tipo c con la trayectoria. De c.

 

La mayor ventaja de la evaporación del haz de electrones es que la mancha del haz de electrones se puede ajustar a voluntad, el filamento se puede ocultar, evitar la contaminación, evaporar cualquier material de recubrimiento, fácil mantenimiento, la velocidad de evaporación se puede controlar a voluntad, pequeña descomposición del material Alta densidad de película. Buena resistencia mecánica .

 

El método de pulverización es bombardear la superficie del material objetivo con iones positivos de alta velocidad. A través de la transmisión de energía cinética, las moléculas (átomos) del material objetivo tienen suficiente energía para escapar de la superficie del material objetivo, y luego se coagulan sobre la superficie del producto para formar una película.

 

La película depositada por el método de pulverización tiene una fuerte adhesión y alta pureza, y puede pulverizar una variedad de diferentes materiales al mismo tiempo. Sin embargo, tiene altos requisitos para el material objetivo y no puede ahorrar recursos como el cañón de electrones.

 

En la actualidad, el método más utilizado es la pulverización con magnetrón. La pulverización magnetrónica consiste en aplicar un campo eléctrico mejorado paralelo a la superficie del cátodo y restringir los electrones cerca de la superficie objetivo del cátodo para mejorar la eficiencia de la ionización. Es el tipo de operación más simple, por lo que es ampliamente utilizado.

 

4. Sistema de control de filmación.

 

En la actualidad, existen muchos métodos de monitoreo de películas, como el monitoreo visual, el monitoreo de valores fijos, el monitoreo de la oscilación del cristal, el monitoreo del tiempo, etc. Presento principalmente el monitoreo visual, monitoreo fijo (extremo) y monitoreo de oscilación de cristal tres.

 

El monitoreo visual, también conocido como monitoreo directo, es el uso del monitoreo ocular, ya que la película en proceso de crecimiento, debido al fenómeno de interferencia tendrá cambios de color, estamos basados en cambios de color para controlar el grosor de la película, esto El método tiene un cierto error, por lo que no es muy preciso, necesitamos confiar en la experiencia.

 

Monitoreo de valor fijo (valor extremo): principalmente UTILIZA el monitoreo óptico de tipo de reflexión (a través del tipo). Método de monitoreo de valor extremo: cuando el espesor de la película aumenta, su reflectancia y su tasa de penetración seguirán el cambio, cuando la reflectancia o la tasa de penetración al punto extremo, podemos saber que el espesor óptico del recubrimiento de ND es un cuarto de la longitud de onda de monitoreo ( en) tiempos enteros. Sin embargo, el error del método de valor extremo es relativamente grande, porque cuando la reflectividad o la transmitancia cambia muy lentamente cerca del valor extremo, es decir, el espesor de la película ND aumenta mucho, R / T cambia. La posición más sensible está en un octavo de la longitud de onda.

 

Método de monitoreo de valor fijo: este método UTILIZA el punto de placa de parada para no monitorear el nivel de onda de cuarto de onda, y luego la computadora calcula la reflectancia (o tasa de penetración) del espesor total de la película en la longitud de onda, que es el recubrimiento de parada punto.

 

Monitoreo de la oscilación de cristal:

 

El principio de funcionamiento de la oscilación del cristal es que la frecuencia de vibración del cristal de cuarzo es inversamente proporcional a su masa. Sin embargo, una de las desventajas de la supervisión de cuarzo es que cuando el espesor de la película aumenta hasta cierto grosor, la frecuencia de vibración no se debe por completo a las características del cuarzo en sí, por lo que existe una relación lineal entre el grosor y la frecuencia.

 

Varios métodos de monitoreo tienen sus propias ventajas y desventajas, pero generalmente el recubrimiento de múltiples capas, el monitoreo óptico será el principal, la oscilación del cristal de cuarzo como un método auxiliar.

 

Además, para algunos en el proceso de recubrimiento deben llenarse con un medidor de control de flujo de gas o medidor de control de presión, estos deben usar válvulas sofisticadas y un sistema de detección fotoeléctrico para controlar.

 

En el proceso de recubrimiento también se necesita un sistema de control rotativo, es poner el eje principal de la sombrilla en el rodamiento, y luego usar el motor para accionar el rodamiento, de modo que la sombrilla giratoria. Entonces el PLC controla su velocidad de rotación.

 

La rotación del crisol es accionada por un motor eléctrico, se adopta el método de conteo de inducción fotoeléctrica y la placa de protección se gira por un interruptor neumático.

 

Para acelerar la velocidad de extracción y lograr un cierto grado de vacío, la cámara de vacío también debe refrigerarse, es decir, el aire dentro de la cámara de vacío se congela a -130 grados Celsius, y el agua dentro de la cámara de vacío Se congela y se bombea.

 

El control automático del PLC, parte del control eléctrico del artículo es el primero en el programa de diseño de entrada del PLC por adelantado, el circuito principal del procesador conectado al sistema vacío en el panel de operación, cuando se presiona el interruptor en el panel de operación, la información se transmite a la central unidad de procesamiento (CPU), y luego por el sistema de control central, analice e implemente y complete las acciones de acuerdo con las instrucciones emitidas por la sucursal.

 

La máquina de revestimiento es una multidisciplina de equipos, TI integra la tecnología mecánica y electrónica más avanzada de la industria, tecnología de control, automatización eléctrica, tecnología de TI, tecnología de refrigeración, sistemas integrados de microcircuitos, sistema de control de alta presión, tecnología mecánica, tecnología de procesamiento, tecnología fotoeléctrica. , tecnología óptica, tecnología de control neumático, tecnología de sensores fotoeléctricos, tecnología de comunicación, tecnología de vacío, película óptica y tecnología de recubrimiento, y así sucesivamente.

 

Se puede decir que la máquina de revestimiento es un nuevo representante de la industria.

 

Hoy en día, la máquina de revestimiento ha sido ampliamente utilizada, especialmente para la película de revestimiento, la producción de varios tipos de película delgada se aplicó al sistema fotoeléctrico e instrumentos ópticos, como cámaras digitales, cámaras digitales, binoculares, proyectores, control de energía, comunicación óptica, La tecnología de la pantalla, el interferómetro, los misiles satelitales, el láser semiconductor, los mems, la industria de la información, la producción de láser, todo tipo de filtros, la industria de la iluminación, los sensores, el vidrio arquitectónico, la industria automotriz, la decoración, MONEDAS, vidrios, etc. estrechamente vinculado con la vida humana.

 

El costo de una máquina de revestimiento importada generalmente alcanza de 3 a 10 millones de RMB, y el costo de los equipos domésticos es de aproximadamente 1 millón de RMB.

IKS PVD, podemos ofrecer herramientas para máquinas de revestimiento, máquinas de revestimiento decorativo, máquinas de revestimiento óptico, contáctenos ahora, iks.pvd@foxmail.com