Efecto de la capa de PVD fabricación proceso en espesor de recubrimiento

- Mar 26, 2018-

Lo más importante en el proceso de recubrimiento PVD es el método de sujeción, que determinará el espesor y uniformidad de la capa. Y no cabe duda de que el grueso de la capa afecta a su vida de servicio. Sin embargo, no es la más gruesa la capa, mejor su esperanza de vida. Sobre la misma pieza, otra aplicación requiere diferentes espesores. Y otra pieza también diverso grueso. Por lo tanto, es importante el control del espesor de la capa.


El espesor de la capa está determinado principalmente por el procedimiento de recubrimiento. Ciertos procedimientos tienen un cierto rango de espesor de la capa, y el espesor de la capa varía considerablemente dentro de esta gama. Sin embargo, el método de sujeción de la pieza también afecta el espesor de la capa. Bajo sujeción inadecuada, el espesor de la capa superará el rango establecido por el programa.


La dimensión de la rotación de la pieza de trabajo afecta el espesor de la capa. Las piezas deben ser giradas en la cámara mientras está cubierto. Hay tres formas de rotación de la pieza de trabajo: rotación unidimensional, bidimensional rotación y rotación tridimensional. Mismo procedimiento de recubrimiento, las dimensiones más de la rotación, la capa más delgada. El espesor de la capa bidimensional de la vuelta es aproximadamente 5 veces el espesor de la capa tridimensional de la vuelta, y el grueso de la capa de vuelta unidimensional es aproximadamente 1,5 veces el espesor de la capa bidimensional de la vuelta. Asumiendo un espesor de capa de una rotación tridimensional es 2um, y luego el espesor de la capa de pieza de trabajo giratoria bidimensional es 3um, mientras que el grueso de la capa de spin giratoria unidimensional puede alcanzar 4.5um o más.


Al sujetar la pieza de trabajo, la densidad de la pieza de trabajo también afecta el espesor de la capa. El espesor de la capa de la pieza de trabajo cuando fija intensamente es pequeña y el espesor de la capa de la pieza que sujeta poco es genial.


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La figura anterior muestra la distribución del espesor de la capa en un solo diente de una encimera. La figura siguiente muestra la distribución del espesor de la capa en distintas posiciones de un taladro.


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Así puede verse que el grueso de diferentes partes de la herramienta se ve muy afectado por el bloqueo, por lo que debemos determinar el método de sujeción basado en experiencia.