Sistemas de evaporación de haz de electrones

- Sep 12, 2018-

Sistemas de haz de electrones y de evaporación térmica. Las etapas de rotación planetarias o simples pueden incluir calentamiento a temperaturas superiores a 950 ° C, dependiendo del tamaño del sustrato y del material. Las fuentes de iones para IBAD y la limpieza previa del sustrato se pueden integrar también en los sistemas. Los sistemas de evaporación incluyen estaciones de bombeo completas, válvulas manuales o electroneumáticas, todos los medidores de vacío, una caja de distribución de energía, bastidores electrónicos, colectores de agua y aire y dispositivos de seguridad. Los sistemas pueden ser operados manualmente o mediante control por computadora. Los calentadores y manipuladores de sustrato pueden diseñarse para formas y tamaños de sustrato no estándar. Las aplicaciones incluyen investigación de materiales básicos, dispositivos SAW, silicio y metalización de obleas GaAs, MEMS o tecnología de pantalla, y más.

Se encuentran disponibles muchas opciones de sistema, que incluyen una amplia gama de fuentes térmicas y de haz de electrones, fuentes de alimentación, integración de fuentes de sputter de haz de iones o magnetrones, RGA, UHV, bloqueos de carga de múltiples obleas y monitores in situ.

01.jpg