Factores que afectan los resultados del recubrimiento de sputtering magnetron

- Feb 19, 2021-

Factores que afectan los resultados del recubrimiento de sputtering magnetron

1, la influencia de la potencia de sputtering, en el caso de los materiales de sustrato y recubrimiento se determinan, la selección de los parámetros del proceso tienen un gran impacto en la tasa de crecimiento y la calidad del recubrimiento. Entre ellos, el escenario del poder de sputtering tiene una gran influencia en ambos aspectos.

2. La influencia de la presión del aire: el sputtering magnetron se lleva a cabo a una alta velocidad bajo baja presión, por lo que es necesario mejorar la tasa de ionización del gas y hacer que el gas forme plasma. Bajo la condición de que se fije la potencia de sputtering, se analiza la influencia de la presión del aire en el sputtering magnetron.

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