Factores que influyen en la tasa de pulverización

- Jun 10, 2019-

Factores que influyen en la tasa de pulverización

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1. Tipos de partículas incidentes
Cuanto mayor sea la masa de la partícula incidente, mayor será la tasa de pulverización

2. La energía del ion incidente.
Después de que la partícula incidente supera el umbral de pulverización, a medida que aumenta la energía de la partícula incidente,
Antes de menos de 150eV, la tasa de pulverización es proporcional al cuadrado de la energía de la partícula incidente,
El cambio no es obvio dentro del rango de 150-10 kev,
La energía del incidente continúa aumentando, la tasa de pulverización mostrará una tendencia a la baja

3. El ángulo de incidencia.
El ángulo de incidencia es de 0-60 ° y la tasa de pulverización aumenta con el ángulo.
La tasa de pulverización caerá bruscamente si el ángulo de incidencia máxima continúa aumentando
El ángulo de incidencia es de 90 ° y la tasa de sputtering es 0

4. Tipos y estructuras de los materiales de destino.
La velocidad de pulverización generalmente aumenta con el aumento del número atómico del objetivo .

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IKS PVD, equipo de recubrimiento por vacío de pulverización, contacte a: iks.pvd@foxmail.com

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