Análisis de fallas de la fuente de alimentación de alto voltaje de la máquina de recubrimiento al vacío PVD

- Feb 27, 2019-

Análisis de fallas de la fuente de alimentación de alto voltaje de la máquina de recubrimiento al vacío PVD

 

Con el desarrollo de la ciencia y la tecnología, la aplicación de la tecnología fotoeléctrica ha sido profunda en todos los ámbitos de la vida. La máquina de revestimiento al vacío es ampliamente utilizada en la producción y desarrollo de la industria de componentes electrónicos. A continuación, una breve introducción de la máquina de revestimiento al vacío de la fuente de alimentación de alto voltaje de la falla típica.

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Culpa:

1, al aumentar el haz de electrones, la presión alta no indicó que la ubicación del punto del haz no está en el centro, el haz de electrones golpeó el borde del crisol, lo que provocó una presión alta sin indicación; (2) la ubicación del lugar en el centro, el material al vapor se rompe, lo que resulta en una alta presión sin indicación.

 

2, no hay haz, indicación de alta tensión inestable problema de carga; (2) carga normal, problema de alimentación de alto voltaje; (3) hay contaminación en la sala de vacío. Si la cámara de vacío está contaminada, la pistola de electrones, el crisol y el electrodo de alta presión se pueden limpiar a fondo. Si no, las partes y la campana se pueden limpiar a fondo

 

Métodos de eliminación:

Use el medidor de alto voltaje para medir el voltaje de salida de la parte de alto voltaje y verifique si es normal. Si es normal, use el método de reemplazo u otros métodos para verificar si el circuito del interruptor principal de la parte de restablecimiento automático es normal. Si es anormal, indica que es el problema del circuito de esta parte. Elimine el mal funcionamiento y regrese el indicador de alto voltaje a normal.

 

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