Cómo controlar la uniformidad de la capa de vacío

- Dec 24, 2018-

Cómo controlar la uniformidad del recubrimiento al vacío.

 

¡Agarrar la depuración de la máquina de recubrimiento es la clave para usar la máquina de recubrimiento! ¿Entonces cómo hacemos eso?

膜层1

Método de depuración de la máquina de recubrimiento al vacío

 

1. Velocidad de extracción de vacío del equipo de prueba, controle las fugas de aire y el rendimiento de las bombas de vacío durante la prueba;

2. El rendimiento de sellado del equipo de prueba es verificar si la caída de presión es estándar durante 1 hora después de que la presión se mantenga al límite, y eliminar al mismo tiempo los pequeños orificios de fuga;

3. El producto ha sido probado y probado para otras propiedades, como transmisión, calefacción, aislamiento, etc .;

4. Si hay garantía de proceso, continúe haciendo las muestras y la prueba;

5. Todas las pruebas deben ser registradas y firmadas por el registrador y confirmadas y firmadas por el departamento de usuarios o el departamento de ingeniería.

 

Cómo controlar la uniformidad del recubrimiento al vacío.

 

Debido a los diferentes principios de la máquina de revestimiento al vacío se divide en muchos tipos, solo por la necesidad de un alto vacío y tiene un nombre unificado. Por lo tanto, para el recubrimiento al vacío de diferentes principios, los factores que afectan la uniformidad no son los mismos. Y el concepto de uniformidad en sí también tendrá diferentes significados con la escala de recubrimiento y la composición de la película, como se describe a continuación:

 

La uniformidad se refleja principalmente en tres aspectos:

 

1. La uniformidad del espesor también puede entenderse como rugosidad.

En la escala de la película óptica (que es 1/10 de longitud de onda como una unidad, aproximadamente 100 A), la uniformidad del recubrimiento al vacío ha sido bastante buena, la rugosidad se puede controlar fácilmente en el rango de 1/10 de longitud de onda de luz visible, es decir , para las características ópticas de la máquina de revestimiento de iones de arco múltiple, revestimiento de vacío sin ningún obstáculo. Sin embargo, si se refiere a la uniformidad en la escala de la capa atómica, es decir, para lograr la nivelación de la superficie de 10A o incluso 1A es el contenido técnico principal y el cuello de botella técnico del recubrimiento al vacío.

 

2. Uniformidad de la composición química.

 

La rama del grupo atómico está en la película, los compuestos debido a que la escala es demasiado pequeña y es fácil producir características desiguales de la película de SiTiO3, si no es un proceso científico de la máquina de recubrimiento por pulverización, y así sucesivamente en la superficie de los componentes reales, no SiTiO3, y Puede ser proporcional a la otra, la película de recubrimiento no desea la composición química de la membrana, es también el contenido técnico del recubrimiento al vacío.

 

3. Uniformidad de orden de celosía.

 

Esto determina que la película es un cristal único, policristalino, amorfo, que la tecnología de recubrimiento al vacío es un problema candente.