Conocimiento inicial del proceso de recubrimiento por evaporación al vacío

- May 23, 2019-

Conocimiento inicial del proceso de recubrimiento por evaporación al vacío.

 

Los componentes principales de la estructura del equipo de evaporación al vacío son los siguientes:

(1) cámara de vacío, que proporciona el grado de vacío necesario para la evaporación y evita que los materiales se oxiden durante la evaporación; (2) fuente de evaporación y calentador de evaporación, que se utilizan principalmente para colocar los materiales de evaporación y calentarlos; (3) sustrato para recibir sustancias de evaporación y formar una película de evaporación sólida en su superficie; (4) calentador de placa base, utilizado para calentar la placa base; (5) dispositivo de medición de temperatura es un dispositivo de medición de temperatura de termopar.

 

El revestimiento por evaporación al vacío consta de los siguientes procesos. 1. Proceso de calentamiento y evaporación, incluida la transición de fase de fase condensada a fase gaseosa (fase sólida, fase líquida o fase gaseosa). Cuando un compuesto se vaporiza de cada sustancia a una temperatura diferente y a una presión de vapor de saturación diferente, sus componentes reaccionan entre sí, algunos de los cuales entran en el espacio de evaporación como gaseosos o vapor.2. Transporte de átomos o moléculas vaporizadas entre la fuente de evaporación y el sustrato. El número de colisiones entre estas partículas y las moléculas de gas residual en la cámara de vacío durante el vuelo del espacio depende del número de colisiones entre las moléculas de gas de los átomos evaporados, la trayectoria libre promedio de los átomos evaporados y la distancia entre los Fuente evaporada y el sustrato. 3. El proceso por el cual los átomos o moléculas vaporizadas se depositan sobre el sustrato, es decir, el proceso de condensación de vapor, nucleación, crecimiento nuclear y la formación de películas delgadas continuas. Como la temperatura del sustrato es mucho más baja que la de la fuente de evaporación, la transición de fase de las moléculas de sedimento ocurre directamente en la superficie del sustrato desde la fase gaseosa hasta la fase sólida.

 

En el proceso de evaporación al vacío, el ambiente de vacío para el recubrimiento por evaporación tiene un papel decisivo, ya que la evaporación de los átomos o moléculas chocará con la gran cantidad de moléculas de aire, la contaminación de la capa de membrana, la formación de óxido o incluso la fuente de evaporación se calienta. , o debido a las moléculas de aire del bloque de colisión, difícil de formar una película delgada continua homogénea. Por lo tanto, es importante tener un vacío estable, y el proceso de evaporación también implica la teoría de la presión de vapor de saturación del material. Por lo tanto, también necesita saber algo sobre la presión de vapor de saturación para comprender el proceso de evaporación.


IKS PVD, equipo de recubrimiento por evaporación, contacto : iks.pvd@foxmail.com

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