Instrucciones de operación de la máquina de recubrimiento al vacío PVD

- Mar 19, 2019-

Instrucciones de operación de la máquina de recubrimiento al vacío PVD

 

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empezando

 

1. Compruebe si la vía de agua está desbloqueada y confirme si la torre de enfriamiento y la bomba de radicales funcionan normalmente (la presión del agua debe estar por encima de 0,4 mpa).

2. Verifique si la trayectoria de aire está despejada y confirme si el compresor de aire está funcionando normalmente (la presión de aire debe alcanzar 0.5mpa).

3. Encienda el interruptor de encendido, encienda el interruptor de "arranque" y "mantenga la bomba", y cuando la lectura del termopar del medidor de vacío esté por debajo de 10pa, encienda los cuatro interruptores del "controlador de temperatura de la bomba de difusión 1, 2 "y" bomba de difusión 1, 2 ". Es decir, el calentamiento de la bomba de difusión (alrededor de 1 hora).

4. Una vez que el tiempo de calentamiento sea de unos 10 minutos, inicie la trampa de baja temperatura. Después del tiempo de enfriamiento de 6 minutos, presione F1 para iniciar la trampa de baja temperatura. Cuando se alcanza la temperatura establecida en el controlador de temperatura, se puede llevar a cabo la operación de producción normal.

 

producción y operación

 

1. Confirme que el material de la película, el filamento de la fuente de iones y el marco de la pieza de trabajo en la cámara de vacío se hayan colocado según sea necesario.

2. Encienda la "bomba basta", ponga el engranaje automático del extractor de aire al engranaje automático, encienda el interruptor del "extractor de aire automático" y espere a que la puerta de la cámara de vacío se cierre.

3. Cuando la bomba de raíces arranca automáticamente, presione la trampa de baja temperatura "F2" para iniciar la función de refrigeración de la trampa.

4. Esta operación debe ser diferente del proceso y hay cambios importantes, es decir, no hay una descripción detallada.

5. El proceso está completo, cierre la pistola, la fuente de iones (debe XianGui cero flujo de energía de filamento y luego cierre la fuente de alimentación), como un interruptor, abra el interruptor de aire automático, después de haber cerrado la válvula de succión, la extracción automática interruptor manual a manual (aquí, además del aviso necesario para mantener la bomba, la bomba de difusión, el bombeo, se presionan los cuatro interruptores de arranque, el otro nunca presiona el interruptor, para evitar el error causado por la bomba de difusión expuesta a la atmósfera). Presione la trampa F3 para activar la función de retorno de temperatura. Cuando la temperatura de la trampa de baja temperatura se eleva a más de 30 grados centígrados, abra la "válvula de llenado". Cuando se abra la puerta de la cámara de vacío, cierre la "válvula de llenado". (nota: está estrictamente prohibido confundir "extracción automática de aire" con el interruptor de "carga automática de aire")

6. El ciclo anterior es el proceso de operación normal.

 

cerrando

 

1. Cierre la puerta de la cámara de vacío a un cierto vacío y cierre todos los interruptores, excepto el interruptor de "parada".

2. La fuente de alimentación, el compresor de aire, la torre de enfriamiento y la bomba de radicales pueden apagarse solo después de que la máquina de recubrimiento al vacío se haya enfriado durante una hora.

 

Nota: todas las operaciones anteriores deben realizarse estrictamente y no pueden cambiarse sin permiso. Si la máquina de recubrimiento está dañada o afectada debido a una operación incorrecta, el operador asumirá la responsabilidad correspondiente.

Advertencia: hay muchos transformadores de alto voltaje en esta máquina, el voltaje es de hasta 8KV, para evitar accidentes de seguridad, no abra la puerta de protección debajo del gabinete eléctrico y la cámara de vacío sin permiso.

 

Observación: las instrucciones de operación anteriores no son adecuadas para todas las máquinas de recubrimiento de PVD. Si tiene alguna pregunta sobre la tecnología de recubrimiento de vacío de PVD, póngase en contacto con IKS PVD ahora. Correo electrónico: iks.pvd@foxmail.com