El sistema de transmisión y el sistema de refrigeración del equipo de recubrimiento PVD

- Mar 31, 2018-

Sistema de manejo


El sistema de accionamiento permite que el sustrato fluya desde la colocación del sustrato en el dispositivo para la deposición de pulverización catódica, hasta que salga del dispositivo una vez finalizado el procesamiento. El sistema de accionamiento se compone de motor de accionamiento, rueda de desplazamiento, convertidor de frecuencia, etc. Las razones para agregar el sistema de disco son:

(1) Asegúrese de que los recubrimientos de espesor uniforme estén ampliamente distribuidos.

(2) Transmisión automatizada fácil de realizar.

 


Sistema de refrigeración


El sistema de refrigeración está compuesto principalmente por la bomba molecular de circulación de agua objetivo, la cámara, el grupo de bomba y el agua de circulación de refrigeración del motor de accionamiento. Su función principal es enfriar la cámara de vacío, la bomba, el accionamiento, la fuente de alimentación, etc. Los requisitos del agua de refrigeración son:

(1) Temperatura: 17 ~ 22 ° C;

(2) Presión: 2 ~ 3e0.05Pa;

(3) Las partículas magnéticas deben eliminarse del agua y el agua debe estar ablandada, pH = 6 ~ 8.