Tipo típico de sistema de vacío

- Jun 30, 2018-


El sistema que solía cumplir ciertos requisitos del proceso, capaz de obtener y medir el vacío específico requerido se llama sistema de vacío. Un sistema de vacío más completo consiste en cámara de vacío, bomba de vacío o unidad de vacío requerida, dispositivo de medición de vacío, conducto de conexión, válvula de vacío, trampa y otros componentes de vacío y sistema de control eléctrico. El sistema de vacío típico se muestra en la figura 1 y la figura 2.

 

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1. Válvula de purga de la cámara de vacío 2. Indicador de vacío de ionización 3. Manómetro de termopar 4. Válvula de regulación de flujo

5. Válvula de alto vacío 6. Bomba de difusión 7. Tanque de almacenamiento de gas

8. Manómetro de termopar (mide la presión previa a la etapa de la bomba de difusión) 9. Válvula de apoyo 10. Sensor de presión

11. Válvula de preembalaje 12. Bomba de vacío Roots 13. Válvula de derivación 14. Válvula de purga electromagnética

15. Bomba de vacío mecánica


Fig.1 Diagrama esquemático de un sistema de vacío típico

 


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1. Cámara de vacío 2. Vacuómetro de ionización 3. Vacuómetro de termopar 4. Válvula de desinflado

5. Válvula de alto vacío 6. Trampa fría 7. Bomba de difusión 8. Válvula de apoyo 9. Válvula de purga electromagnética

10. Bomba de vacío mecánica 11 Válvula de preembalaje

 

Fig.2 Diagrama esquemático de un sistema de vacío típico