Detalles de la máquina de recubrimiento al vacío

- Mar 23, 2019-

Detalles de la máquina de recubrimiento al vacío

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Resumen del sistema

La máquina de recubrimiento al vacío se refiere principalmente a un tipo de recubrimiento que debe llevarse a cabo en un alto grado de vacío, incluidos muchos tipos, incluida la evaporación de ión al vacío, la pulverización con magnetrón, la epitaxia de haz molecular MBE, la deposición por pulverización con láser PLD, etc. La idea principal se divide en evaporación y pulverización.

 

A menudo se utiliza para el tratamiento de superficies nanométricas en semiconductores, fotovoltaicos, electrónica, óptica de precisión y otros.

 

Principio del sistema

El material objetivo que se va a colocar en el crisol es bombardeado con electrones por la pistola de electrones a alta presión, que se vaporiza y se deposita sobre el sustrato a alto vacío para obtener la película de recubrimiento.


La configuracion del sistema

* controlador automático: e-control PLC es la plataforma de hardware central del sistema de Control.

* hardware de interfaz hombre-máquina: TPC1503 industrial con tableta táctil de 15 pulgadas, estable y confiable.

* software de interfaz hombre-máquina: la plataforma de desarrollo de software de configuración NETSCADA, que proporciona control y monitoreo de la máquina de recubrimiento al vacío.

 

Evaluación del sistema:

* hasta 99 capas por soporte de formación de película;

* reversa inversa automática, doble capa lateral se puede lograr

* soporte Excle para importar materiales de destino, parámetros de equipo, parámetros de proceso, etc .;

* admite el control personalizado de la cantidad de puntos de píxel del cañón de electrones para lograr un control de calentamiento continuo del objetivo;

* para diferentes secciones de calentamiento, se adoptan diferentes modos de evaporación para garantizar tanto la temperatura uniforme del material fundido como la eficiencia del material fundido;

* inicio con un solo clic, desde el inicio hasta el final de la producción, solo tiene que hacer clic con el mouse, todo tipo de procesos de producción se completan automáticamente;

* esquema de administración de datos de números de lote, almacenamiento automático en tiempo real de la información de producción, datos de producción disponibles;

* solución de red, que proporciona un puerto de red remoto, que se realiza fácilmente el control y la gestión centralizada de múltiples sistemas remotos;

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