Clasificación y aplicación del medidor de vacío para equipos de vacío

- Nov 10, 2020-

Clasificación y aplicación del medidor de vacío para equipos de vacío

En el control automático del dispositivo de vacío del equipo de recubrimiento al vacío, a menudo se requiere la medición del vacío. Debido a la amplia variedad de dispositivos de vacío y diferentes rangos de presión de trabajo, se pueden realizar mediciones de vacío en varias áreas de vacío de 105 Pa a 10-5 Pa. Los medidores de vacío de uso común incluyen medidor de vacío de resistencia, medidor de vacío de termopar, medidor de vacío de capa delgada de capacitancia, medidor de vacío de ionización, medidor de vacío ultra alto, etc. Para ampliar las funciones del medidor de vacío, el fabricante de instrumentos de vacío también produce tales Módulos funcionales como control remoto y telemetría, salida analógica, interfaz de comunicación RS-232C y regulación de presión para que los usuarios elijan y combinen. Por lo tanto, la distribución de un medidor de vacío completo, no solo para la medición del grado de vacío, la pantalla digital, el cambio automático de rango, la corrección de errores, sino también el control de la señal del punto de ajuste de presión para controlar la presión, la presión se ajusta automáticamente de acuerdo con la presión establecida valor, también los valores medidos se pueden imprimir, contactar y comunicarse con el PC, incluso se pueden realizar mediciones de vacío y controlar a distancia. 1. Instrumento de control de presión en la producción industrial y experimentos científicos, a menudo se espera que el grado de vacío en la cámara de vacío del dispositivo de vacío se pueda mantener en un valor dado de acuerdo con los requisitos de la tecnología de vacío. Este requisito generalmente se puede completar ajustando manualmente la válvula de ajuste fino de vacío; si desea completar automáticamente el ajuste de presión, es necesario usar el instrumento de control de presión para completar. El instrumento de control de presión generalmente se compone de una unidad de medición de vacío (manómetro de vacío), un circuito de regulación de presión automático y una válvula de regulación de vacío. Es un instrumento de control automático que integra medición de vacío y regulación de presión. Instrumento de control de presión doméstica principalmente HY, ZDC, SYK, DL, ZZK y otros productos. Los principales índices técnicos del instrumento de control de presión son rango de control de presión, precisión de control, rango de control de flujo, tiempo de reacción, etc. Depende del desempeño del regulador de vacío, circuito de control y regulador de vacío. El controlador de presión se utiliza ampliamente en los campos de implantación de iones, grabado por haz de iones, recubrimiento al vacío, tecnología láser y materiales semiconductores.

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