Elementos reguladores de flujo de gas de vacío

- Nov 12, 2020-

Elementos reguladores de flujo de gas de vacío en principio, el regulador de vacío manual general, con motor de control adecuado (como servomotor, motor paso a paso, etc.) o cilindro hidráulico, ajustando la señal de control del motor de control o cilindro hidráulico, el motor de control o El movimiento del cilindro hidráulico y transforma la conductividad del flujo de la válvula de vacío, luego cambia el flujo de gas a través de la válvula de vacío, completa el grado de vacío de la cámara de vacío en el dispositivo de vacío de ajuste automático. Sin embargo, en la actualidad, solo hay tres tipos de válvulas de control de flujo de gas de vacío producidas por fabricantes de instrumentos de vacío en China: válvula de control de flujo electromagnético, válvula de caudalímetro másico y válvula de control de flujo piezoeléctrico, y los dispositivos de control de presión domésticos eligen principalmente la válvula piezoeléctrica como gas de vacío elemento de control de flujo. La válvula piezoeléctrica es una válvula de control de flujo de gas de vacío hecha de efecto piezoeléctrico. El núcleo de la válvula piezoeléctrica es un diafragma piezoeléctrico hecho de cerámica piezoeléctrica. Cuando se aplica un voltaje de control a una membrana cerámica piezoeléctrica, se produce una deformación proporcional al valor del voltaje aplicado. Al mismo tiempo, mueva la junta. Luego, la guía de flujo de la válvula piezoeléctrica cambia, cambiando así el flujo de gas a través de la válvula piezoeléctrica. Cuando el voltaje de control no se aplica al diafragma cerámico piezoeléctrico, la fuerza mecánica del resorte ACTÚA sobre el diafragma cerámico piezoeléctrico y la junta de sellado, de modo que la vía de aire de la válvula piezoeléctrica está cerrada. Por tanto, el flujo de gas a través de la válvula piezoeléctrica puede cambiarse cambiando el tamaño del voltaje de control aplicado en el diafragma cerámico piezoeléctrico. Por tanto, se puede ajustar el grado de vacío en la cámara de vacío del dispositivo de vacío.

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