¿Qué papel juega el enfriador en el proceso de recubrimiento al vacío?

- Apr 17, 2019-

¿Qué papel juega la enfriadora en el proceso de recubrimiento al vacío?

 

El principio de funcionamiento del recubrimiento al vacío es que el cuerpo de la película se evapora y cae sobre la superficie de la pieza de trabajo para cristalizar a alta temperatura . A medida que el aire en la evaporación de las moléculas de la membrana producirá la resistencia causada por la colisión de los cristales, se vuelve áspero, por lo que debe estar en un alto vacío para que el cristal sea fino y brillante, si el vacío no es alto, el cristal perderá brillo y una unión pobre fuerza. El recubrimiento al vacío temprano depende de la evaporación de la dispersión natural, combinada con un bajo brillo de baja eficiencia. Ahora, además del objetivo de pulverización magnetrónica de frecuencia media, las moléculas de evaporación del cuerpo de la película se aceleran para bombardear el material objetivo bajo la acción del campo eléctrico con el objetivo magnetrón, y se expulsa una gran cantidad de átomos objetivo, y los átomos (o moléculas) neutros se depositan sobre el sustrato para formar una película, lo que resuelve el problema de la variedad de cuerpos de película que no pueden procesarse por evaporación natural en el pasado, como el titanio y el circonio, etc.

 

Si el equipo debe agregar agua de refrigeración, debido a su corriente de alta frecuencia. Cuando la corriente fluye en el conductor, hay un efecto de piel y la carga se acumula en el área de la superficie de la conductancia, de modo que la conductancia se calienta. Por lo tanto, el tubo del orificio central se utiliza como conductor y se agrega agua para enfriarlo.

 

¿Por qué enfriar el agua? Los objetivos de pulverización magnetrónica producen altas temperaturas durante el lanzamiento que deforman la pistola, por lo que tiene una chaqueta para enfriar la pistola. Al mismo tiempo, hay otra razón importante por la que la pulverización magnetrónica puede considerarse como uno de los logros sobresalientes de z * en la tecnología de recubrimiento. Tiene una alta tasa de pulverización, baja elevación de la temperatura del sustrato y buena adherencia a la base de la película.

 

Se discuten el principio general de la pulverización magnetrónica y la no uniformidad y simetría transversales del campo magnético. La pulverización magnetrónica puede considerarse como uno de los logros sobresalientes de z * en la tecnología de recubrimiento. Se caracteriza por una alta tasa de pulverización, baja elevación de la temperatura del sustrato, buena adhesión a la base de la película y un rendimiento estable del dispositivo.

 

La enfriadora es un tipo de equipo de refrigeración por agua, que puede proporcionar temperatura constante, corriente constante, presión constante, refrigeración por agua. Su principio de funcionamiento es inyectar una cierta cantidad de agua en el tanque de agua de la máquina primero, enfriar el agua a través del sistema de refrigeración. y luego envíe el agua de refrigeración a baja temperatura al equipo de refrigeración por la bomba de agua, la temperatura aumenta después de que el agua de refrigeración retire el calor y luego fluya de regreso al tanque de agua para lograr el efecto de refrigeración. La temperatura del agua de enfriamiento se puede ajustar automáticamente de acuerdo con los requisitos, el uso prolongado puede ahorrar agua.

 

 

La enfriadora puede controlar la temperatura de la máquina de recubrimiento al vacío para garantizar la alta calidad de las piezas de recubrimiento. Si no es adecuado para la enfriadora, la máquina de recubrimiento por vacío no puede lograr el control de temperatura de alta precisión y eficiencia, ya que la temperatura natural afecta inevitablemente la disipación de calor del agua natural y de la torre de agua, y esta forma de control es muy inestable

 

La máquina de agua fría tiene un sistema de refrigeración completamente independiente, no influenciado por la temperatura y el ambiente, la temperatura del agua en el control de ajuste de rango de 5 ~ 30 ,, por lo tanto, logra el propósito de control de temperatura y alta precisión, alta eficiencia, la máquina de agua fría está equipada con Sistema de reciclaje de agua.

 

IKS PVD , MF frequency frecuencia media megnetron sputtering máquina de recubrimiento , contacto iks.pvd@foxmail.com

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