Repuestos de elementos de sellado para ZY-1713 Magnetron Sputtering Máquina de recubrimiento por vacío

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Lista de piezas de repuesto
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Detalles


Lista de piezas de repuesto


NO. ít. Material Cantidad Propósito
1 Tipo de labios embalaje L5400
Goma de vacío 1
Cilindro
2 Junta tórica φ 125x4 FKM 2 Ventana de inspección
3 Junta tórica φ 105x4 FKM 4 Ventana de inspección
4 Sello de aceite 8x22x7 FKM 4 Ventana de inspección
5 Junta tórica φ 20x4 FKM 2 Ventana de inspección
6 Junta tórica φ 2.5x2.5 FKM 2 Termometría
7 Junta tórica φ 6x3 NBR 18 Grupo de inflación del aire
8 Junta tórica φ 25x4 FKM 12 Calentador
9 Junta tórica φ 100x4 NBR 20 Placa ciega cilíndrica
10 Junta tórica φ 815x6 FKM 4 Blanco ciego
11 Junta tórica φ 200x4 NBR 1 Placa ciega cubierta inferior
12 Junta tórica φ 120x3 FKM 10 Placa ciega de fuente de arco 1
13 Junta tórica φ 18x3 FKM 10 Placa ciega de fuente de arco 2
14 Junta tórica φ 42x4 NBR 6 Placa ciega de válvula de rejilla
15 Junta tórica φ 205x5 FKM 6 Brida de la tapa superior 1
dieciséis Junta tórica φ 320x5 FKM 4 Brida de la tapa superior 2
17 Junta tórica φ 54x3 FKM 1 Soporte giratorio
18 Junta tórica φ 180x6 FKM 1 Soporte giratorio
19 Junta tórica φ 200x6 FKM 1 Rotatinc
20 Junta tórica φ 15x4 NBR 2 Calibre
21 Junta tórica φ 16x3 Silicona 9 Objetivo cilíndrico
22 Sello de aceite 25x42x7 Silicona 18 Objetivo cilíndrico
23 Junta tórica φ 90x5 Silicona 18 Objetivo cilíndrico
24 Sello de aceite 32x62x10 Silicona 27 Objetivo cilíndrico
25 Junta tórica φ 640x3 NBR 1 Fuente de iones
26 Junta tórica φ 630x2.65 NBR 1 Fuente de iones
27 Junta tórica φ 2x1.8 NBR 1 Fuente de iones
28 Junta tórica φ 4x2.5 NBR 4 Fuente de iones
29 Junta tórica φ 70x3.55 NBR 1 Fuente de iones
30 Junta tórica φ 90x3.55 NBR 1 Fuente de iones
31 Junta tórica φ 13x2 NBR 4 Fuente de iones
32 Junta tórica φ 7x2.65 NBR 14 Fuente de iones
33 Esqueleto sello de aceite 10x22x7 NBR 10 Fuente de arco
34 Junta tórica φ 18x3 NBR 10 Fuente de arco
35 Junta tórica φ 105x5 FKM 5 Fuente de arco
36 Junta tórica φ 108x5 FKM 5 Fuente de arco
37 Junta tórica φ 815x6 NBR 2 Fuente de arco
38 Junta tórica φ 65x4 NBR 3 Unidad
39
Junta tórica φ 160x5 NBR 2 Unidad


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