Indicadores de vacío compatibles y controladores CDG025D 0.1 ~ 1000 Torr / mbar

Indicadores de vacío compatibles y controladores CDG025D 0.1 ~ 1000 Torr / mbar

INTRODUCCIÓN La línea de manómetros de diafragma de capacitancia INFICON SKY CDG025D de manómetros de alta precisión con compensación de temperatura está diseñada para un rendimiento estable en entornos de herramientas de fabricación rigurosas. La electrónica digital avanzada mejora el rendimiento del medidor y ofrece características de fácil manejo como ...
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Detalles


INTRODUCCIÓN


La línea de manómetros de diafragma de capacitancia INFICON SKY CDG025D de manómetros de alta precisión compensados por temperatura está diseñada para un rendimiento estable en entornos de herramientas de fabricación rigurosas. Los componentes electrónicos digitales avanzados mejoran el rendimiento del medidor y ofrecen características de fácil manejo, como la función de cero con un solo botón y el ajuste del punto de ajuste. El sensor de cerámica resistente a la corrosión proporciona una excelente estabilidad cero con una larga vida útil de varios millones de ciclos de presión, incluidas las explosiones atmosféricas. Un escudo de sensor único (pendiente de patente) protege el medidor de la contaminación del proceso. Un diseño mecánico robusto y electrónica digital mejoran la compatibilidad EMC, la estabilidad a largo plazo y la compensación de temperatura. El CDG025D establece nuevos estándares para una estabilidad rápida después del encendido y una recuperación rápida de la exposición a la presión atmosférica.


Los indicadores de diafragma de capacitancia INFICON SKY CDG025D son reemplazos directos de los transmisores Oerlikon Leybold CTR 100. Obtenga el original del fabricante con soporte global y soluciones para todas las aplicaciones.



BENEFICIOS


◆ Totalmente compatible con transmisores CTR 100

La escala completa varía desde 100 mTorr ... 1000 Torr

Estabilidad rápida después del encendido

Recuperación rápida de la presión atmosférica

Sensor de cerámica resistente a la corrosión

Excelente estabilidad de señal a largo plazo

Temperatura compensada

Sensor protegido de la contaminación

Una función cero de botón

Fuente de alimentación de amplio rango



APLICACIONES TÍPICAS


Equipos de fabricación de semiconductores para Etch, CVD, PVD, ALD

Equipo de fabricación de visualización y almacenamiento de datos

Equipo de vacío industrial

Medición de presión general de alta precisión



ESPECIFICACIÓN


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Tipo

1000 Torr

/ 1100 mbar

500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr

0.1 Torr

/ mbar

Exactitud % de leer 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
Efecto de la temperatura
en cero por ciento FS / ° C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
en palmo % de lectura / ° C 0.01
0.01 0.01 0.03 0.03
Resolución por ciento FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
Presión, máx. kPa (absoluto) 400 260 260 130 130

Tiempo de respuesta

Sra 30 30 30 130 130
Lectura más baja por ciento FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
La lectura sugerida más baja por ciento FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
La presión de control más baja sugerida por ciento FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
Temperatura

Operación

(ambiente)

DO +5 ... +50 +5 ... +50 +5 ... +50 +5 ... +50 +5 ... +50
Bakeout en la brida DO ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
Almacenamiento DO -40 ... +65 -40 ... +65 -40 ... +65 -40 ... +65 -40 ... +65
Voltaje de suministro V (dc) +14 ... +30 +14 ... +30 +14 ... +30 +14 ... +30 +14 ... +30

Poder

consumo

W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1

Señal de salida

(cosa análoga)

V (dc) 0 ... +10 0 ... +10 0 ... +10 0 ... +10 0 ... +10

Grado de

proteccion


IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
Estándares
Conformidad CE

EN 61000-6-2, EN

61000-6-3, EN 61010 y RoHS

EN 61000-6-2, EN

61000-6-3, EN 61010 y RoHS

EN 61000-6-2, EN

61000-6-3, EN 61010 y RoHS

EN 61000-6-2, EN

61000-6-3, EN 61010 y RoHS

EN 61000-6-2, EN

61000-6-3, EN 61010 y RoHS

Certificación ETL

UL 61010-1, CSA 22.2 No.

61010-1

UL 61010-1, CSA 22.2 No.

61010-1

UL 61010-1, CSA 22.2 No.

61010-1

UL 61010-1, CSA 22.2 No.

61010-1

UL 61010-1, CSA 22.2 No.

61010-1

Eléctrico

conexión


D-sub, 15 polos, macho

D-sub, 15 polos, macho

D-sub, 15 polos, macho

D-sub, 15 polos, macho

D-sub, 15 polos, macho

Materiales expuestos al vacío

Aluminio

óxido de cerámica (AI2O3),

Vacon 70,

acero inoxidable (AISI 316L),

AgCuTi duro

soldadura, sellado de vidrio

Aluminio

óxido de cerámica (AI2O3),

Vacon 70,

acero inoxidable (AISI 316L),

AgCuTi duro

soldadura, sellado de vidrio

Aluminio

óxido de cerámica (AI2O3),

Vacon 70,

acero inoxidable (AISI 316L),

AgCuTi duro

soldadura, sellado de vidrio

Aluminio

óxido de cerámica (AI2O3),

Vacon 70,

acero inoxidable (AISI 316L),

AgCuTi duro

soldadura, sellado de vidrio

Aluminio

óxido de cerámica (AI2O3),

Vacon 70,

acero inoxidable (AISI 316L),

AgCuTi duro

soldadura, sellado de vidrio

Volumen interno
1/2 '' tubo cm³ (in.³) 3.6 (0.22)
DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 3.6 (0.22)
DN 16 CF-R cm³ (in.³) 3.6 (0.22)
8 VCR® cm³ (in.³) 3.6 (0.22)












































































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Consulta

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