Indicadores de vacío compatibles y controladores CDG045D 0.05 ~ 1000Torr / Mbar

Indicadores de vacío compatibles y controladores CDG045D 0.05 ~ 1000Torr / Mbar

INTRODUCCIÓN Los manómetros INFICON SKY CDG045D son su mejor opción para la medición y el control de la presión total de alta precisión. Los medidores CDG045D están controlados por temperatura a 45 ° C para una estabilidad de señal superior y repetibilidad. Están disponibles para rangos de escala completa de 50 mTorr a 1000 Torr, con ...
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Detalles


INTRODUCCIÓN


Los manómetros INFICON SKY CDG045D son su mejor opción para la medición y el control de la presión total de alta precisión. Los medidores CDG045D están controlados por temperatura a 45 ° C para una estabilidad de señal superior y repetibilidad. Están disponibles para rangos de escala completa de 50 mTorr a 1000 Torr, con todos los tipos de bridas comunes e interfaces de bus de campo y proporcionan una señal de presión lineal de 0 a 10 V, independiente del tipo de gas. Los manómetros de capacitancia INFICON utilizan un diafragma cerámico de alúmina ultrapura que es resistente a la corrosión. Las ventajas del sensor de cerámica son una mejor estabilidad de señal, una recuperación más rápida de la atmósfera, un tiempo de calentamiento corto y una vida útil extraordinaria. INFICON CDG son sensores de presión de alta calidad y económicos para aplicaciones de vacío exigentes.


Los indicadores de diafragma de capacitancia INFICON SKY CDG045D son reemplazos directos para los transmisores Oerlikon Leybold CTR 101. Obtenga el original del fabricante con soporte global y soluciones para todas las aplicaciones.




BENEFICIOS


Totalmente compatible con los transmisores CTR 101

CoO más bajo (costo de propiedad), calentamiento 50% más rápido, bajo consumo de energía eficiente

Fácil integración, amplia variedad de básculas completas, bridas e interfaces, estándar con dos puntos de ajuste

Botón de un solo botón o comando de señal remota cero, compensación de cero ajustable

Puerto de diagnóstico para un servicio y mantenimiento rápidos

Garantía de dos años, mayor vida útil con un avanzado concepto de calentamiento y protección de indicadores

Sin recalibración a largo plazo debido a la excelente estabilidad de señal y repetibilidad, incluso en aplicaciones de plasma severas

Cumplimiento y estándares: CE, EN, UL, SEMI, RoHS




APLICACIONES TÍPICAS


Etch, CVD, PVD y otros procesos de producción de semiconductores

Procesos de vacío químicos y corrosivos

Procesos generales de película fina y vacío

Sensor de referencia para supervisar los instrumentos de prueba de acuerdo con los estándares internacionales

Norma de transferencia para mediciones de trazabilidad




ESPECIFICACIÓN


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Tipo


1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1Torr / mbar

0.5 ... 0.05 Torr / mbar

Exactitud

% de leer

0.15

0.15

0.15

Efecto de la temperatura

en cero

por ciento FS / ° C

0.0025

0.0025

0.0025

en palmo

% de lectura / ° C

0.01

0.01

0.01

Resolución

por ciento FS

0.003

0.003

0.003

Presión, máx.

kPa (absoluto)

400

260

130

Lectura más baja

por ciento FS

0.01

0.01

0.01

Mínimo sugerido

leyendo

por ciento FS

0.05

0.05

0.05

Mínimo sugerido

control de presión

por ciento FS

0.5

0.5

0.5

Temperatura

Operación (ambiente)

DO

+10 ... +40

+10 ... +40

+10 ... +40

Bakeout en la brida

DO

≤110

≤110

≤110

Almacenamiento

DO

-20 ... +65

-20 ... +65

-20 ... +65

Voltaje de suministro


+14 ... +30 VDC o ±

15 V (± 5%)

+14 ... +30 VDC o ±

15 V (± 5%)

+14 ... +30 VDC o ±

15 V (± 5%)

El consumo de energía

Durante el calentamiento

W

≤12

≤12

≤12

A la temperatura de funcionamiento

W

≤8

≤8

≤8

Señal de salida (analógica)

V (dc)

0 ... +10

0 ... +10

0 ... +10

Tiempo de respuesta

Sra

30

30

130/30

Grado de protección


IP 40

IP 40

IP 40

Estándares

Conformidad CE


EN 61000-6-2 / -6-3,

EN 61010 y RoHS

EN 61000-6-2 / -6-3,

EN 61010 y RoHS

EN 61000-6-2 / -6-3,

EN 61010 y RoHS

Certificación ETL


UL 61010-1, CSA

22.2 No.61010-1

UL 61010-1, CSA

22.2 No.61010-1

UL 61010-1, CSA

22.2 No.61010-1

Cumplimiento SEMI


SEMI S2

SEMI S2

SEMI S2

Conexión electrica


D-sub, 15 polos, macho

D-sub, 15 polos, macho

D-sub, 15 polos, macho

Punto fijo





Número de puntos de ajuste


2 (SP1, SP2)

2 (SP1, SP2)

2 (SP1, SP2)

Contacto de relevo

V (dc)

≤30

≤30

≤30

Histéresis

por ciento FS

1

1

1

Puerto de diagnóstico

Protocolo


RS232-C

RS232-C

RS232-C

Leer


presión, estado, identificación

presión, estado, identificación

presión, estado, identificación

Conjunto


establecer puntos, filtro, cero

ajustar, restablecer de fábrica,

Desplazamiento DC

establecer puntos, filtro, cero

ajustar, restablecer de fábrica,

Desplazamiento DC

establecer puntos, filtro, cero

ajustar, restablecer de fábrica,

Desplazamiento DC

Materiales expuestos a

vacío


cerámica de óxido de luminum

(AI2O3), acero inoxidable (AISI 316L)

cerámica de óxido de luminum

(AI 2 O 3 ), acero inoxidable (AISI 316L )

cerámica de óxido de luminum

(AI 2 O 3 ), acero inoxidable (AISI 316L )

Volumen interno

1/2 '' tubo

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

DN 16 ISO KF

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

DN 16 CF-R

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

8 VCR®

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)






























































Consulta