INTRODUCCIÓN
El controlador de flujo másico πMFC de baja presión PFC-20 proporciona una utilización máxima de los gases de fuente de suministro seguro. Implementación de la baja presión πMFC aumenta el tiempo de actividad de la herramienta al reducir la frecuencia de los cambios en el cilindro de gas fuente. Ofrece un control preciso y preciso de flujos de gas bajos en un amplio rango de presión con una presión de suministro de gas de fuente tan baja como 4 Torr.
Este πMFC es lo último en productos MKS diseñados específicamente para gases fuente SDS y VAC ® que sirven a la industria de implantación de iones. Los diseños patentados de válvula y sensor ofrecen estabilidad y precisión cero excepcionales para todas las condiciones de flujo, al tiempo que mantienen la capacidad de alcanzar rápidamente el punto de referencia y controlar repetidamente el flujo de gas. La huella de MFC y control de E / S de tamaño estándar son compatibles con las líneas de gas existentes para una fácil integración y operación.
CARACTERÍSTICAS Y BENEFICIOS
◆ Maximiza el uso de la fuente de gas SDS reduciendo los cambios de botella, lo que resulta en un mayor tiempo de actividad de la herramienta y un menor costo de propiedad
◆ Controla repetidamente los bajos flujos de gas, lo que permite un consumo de gas reducido, utilizando parámetros optimizados para aplicaciones de fuentes de implanto
◆ El circuito de control digital proporciona una respuesta rápida al punto de ajuste minimizando el tiempo de ciclo del proceso
◆ Aumenta el tiempo de actividad de la herramienta mediante la reducción de "No se encontró problema": reemplazos de MFC
- Incluye software y diagnósticos integrados que permiten a los usuarios verificar la funcionalidad de MFC sin quitar el MFC
-E-diagnóstico a través de la interfaz Ethernet integrada permite monitorear los parámetros de rendimiento durante la operación
◆ Reemplazo directo de función de ajuste de forma para la mayoría de los MFC comunes
◆ Reduce los costos de inventario a través de la capacidad multi-gas y multi-rango
◆ Configuración y diagnósticos sencillos a través de la interfaz Ethernet
- Utiliza un navegador web estándar - no se requiere ningún software especial
- Incluye una aplicación de PC remota
◆ La brillante pantalla LED giratoria proporciona una fácil visualización del caudal, tipo de gas, rango de flujo de escala completa, temperatura y dirección de Ethernet
DIBUJO DIMENSIONAL Y PINOUTS
ESPECIFICACIÓN
| Actuación | ||
| Gamas de escala completa (equivalente a N 2 ) | 2- 20 sccm | |
| Rango de presión de entrada | 4 - 1200 Torr (con vacío en la salida) | |
| Diferencial de presión de operación normal (equivalente a N 2 ) | <10 torr="" a="" flujo="" de="" fs="" (con="" vacío="" en="" la=""> | |
| Presión máxima de purga | 150 psig | |
| Presión de rotura | 1500 psig | |
| Rango de control | 2 a 100% de FS | |
| Exactitud típica | ± 1% del punto de referencia para> 10 a 100% FS y ± 0.2% de FS para 2 a 10% de FS en las presiones de entrada> 20 Torr | |
| Repetibilidad | 0.2% de FS | |
| Resolución | 0.1% de lectura | |
Temperatura Coeficientes | Cero | ± 0.08% de FS / ° C |
| Lapso | ± 0.08% de Rdg / ° C | |
Tiempo de asentamiento del controlador (según la Semi-Directriz E17-0600) | <2> típico por encima del 10% de FS a presiones de entrada> 10 Torr | |
Tiempo de calentamiento (hasta dentro del 0.2% de FS de rendimiento de estado estacionario ) | <30> | |
| Temperatura de funcionamiento normal | 10 a 50 ° C | |
| Humedad de almacenamiento | 0 a 95% de humedad relativa, sin condensación | |
| Temperatura de almacenamiento | -20 a 65 ° C | |
| Pantalla de temperatura | 0 a 100 ° C | |
| Unidades de lectura de temperatura | DO | |
| Exactitud de la temperatura | ± 2 ° C | |
| Resolución de temperatura | 0.1 ° C | |
| Mecánico | ||
| Guarniciones | Swagelok ® 4 VCR ® | |
| Monitor | 4 dígitos para el valor, 4 caracteres para la unidad | |
| Integridad de fuga | Externo (scc / sec He) | <1x10> |
| A través de la válvula cerrada | <1.0% de="" fs="" a="" 25="" psig="" a="" la=""> | |
Materiales mojados Estándar | 316 SS VAR (equivalente a 316 SS SCQ para calidad de semiconductor), 316 SS, Elgiloy, KM-45, NiTi | |
| Acabado de la superficie | 5 micras promedio Ra | |
| Peso | Menos de 2 lbs. (0.9 kg) | |
| Eléctrico | ||
| Conectores | Analógico (potencia y E / S) | 9 pin D macho o 15 pin D macho |
| Diagnostico | Ethernet | |
| Voltaje de entrada | 15-24 VDC ± 5% VDC a 350mA pico, estado estable de 250 mA | |
| Set Point Command Signal | 0 a 5 VDC | |
| Señal de salida | 0 a 5 VDC | |
