Controlador de flujo másico LowMFC de baja presión - PFC-20

Controlador de flujo másico LowMFC de baja presión - PFC-20

El controlador de flujo másico πMFC de baja presión PFC-20 proporciona una utilización máxima de los gases de fuente de suministro seguro. Implementación de la baja presión πMFC aumenta el tiempo de actividad de la herramienta al reducir la frecuencia de los cambios en el cilindro de gas fuente. Ofrece un control preciso y preciso de bajo nivel de gas ...
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Detalles


INTRODUCCIÓN


El controlador de flujo másico πMFC de baja presión PFC-20 proporciona una utilización máxima de los gases de fuente de suministro seguro. Implementación de la baja presión πMFC aumenta el tiempo de actividad de la herramienta al reducir la frecuencia de los cambios en el cilindro de gas fuente. Ofrece un control preciso y preciso de flujos de gas bajos en un amplio rango de presión con una presión de suministro de gas de fuente tan baja como 4 Torr.


Este πMFC es lo último en productos MKS diseñados específicamente para gases fuente SDS y VAC ® que sirven a la industria de implantación de iones. Los diseños patentados de válvula y sensor ofrecen estabilidad y precisión cero excepcionales para todas las condiciones de flujo, al tiempo que mantienen la capacidad de alcanzar rápidamente el punto de referencia y controlar repetidamente el flujo de gas. La huella de MFC y control de E / S de tamaño estándar son compatibles con las líneas de gas existentes para una fácil integración y operación.




CARACTERÍSTICAS Y BENEFICIOS


Maximiza el uso de la fuente de gas SDS reduciendo los cambios de botella, lo que resulta en un mayor tiempo de actividad de la herramienta y un menor costo de propiedad

Controla repetidamente los bajos flujos de gas, lo que permite un consumo de gas reducido, utilizando parámetros optimizados para aplicaciones de fuentes de implanto

El circuito de control digital proporciona una respuesta rápida al punto de ajuste minimizando el tiempo de ciclo del proceso

Aumenta el tiempo de actividad de la herramienta mediante la reducción de "No se encontró problema": reemplazos de MFC

- Incluye software y diagnósticos integrados que permiten a los usuarios verificar la funcionalidad de MFC sin quitar el MFC

-E-diagnóstico a través de la interfaz Ethernet integrada permite monitorear los parámetros de rendimiento durante la operación

Reemplazo directo de función de ajuste de forma para la mayoría de los MFC comunes

Reduce los costos de inventario a través de la capacidad multi-gas y multi-rango

Configuración y diagnósticos sencillos a través de la interfaz Ethernet

- Utiliza un navegador web estándar - no se requiere ningún software especial

- Incluye una aplicación de PC remota

◆ La brillante pantalla LED giratoria proporciona una fácil visualización del caudal, tipo de gas, rango de flujo de escala completa, temperatura y dirección de Ethernet




DIBUJO DIMENSIONAL Y PINOUTS


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ESPECIFICACIÓN


Actuación
Gamas de escala completa (equivalente a N 2 ) 2- 20 sccm
Rango de presión de entrada   4 - 1200 Torr (con vacío en la salida)
Diferencial de presión de operación normal (equivalente a N 2 ) <10 torr="" a="" flujo="" de="" fs="" (con="" vacío="" en="" la="">
Presión máxima de purga 150 psig
Presión de rotura 1500 psig
Rango de control 2 a 100% de FS
Exactitud típica  

± 1% del punto de referencia para> 10 a 100% FS y

± 0.2% de FS para 2 a 10% de FS

en las presiones de entrada> 20 Torr

Repetibilidad 0.2% de FS
Resolución 0.1% de lectura

Temperatura

Coeficientes

Cero ± 0.08% de FS / ° C
Lapso ± 0.08% de Rdg / ° C

Tiempo de asentamiento del controlador (según la Semi-Directriz E17-0600)

<2> típico por encima del 10% de FS a presiones de entrada> 10 Torr

Tiempo de calentamiento

(hasta dentro del 0.2% de FS de rendimiento de estado estacionario )

<30>
Temperatura de funcionamiento normal 10 a 50 ° C
Humedad de almacenamiento 0 a 95% de humedad relativa, sin condensación
Temperatura de almacenamiento   -20 a 65 ° C
Pantalla de temperatura 0 a 100 ° C
Unidades de lectura de temperatura   DO
Exactitud de la temperatura ± 2 ° C
Resolución de temperatura 0.1 ° C
Mecánico
Guarniciones   Swagelok ® 4 VCR ®
Monitor 4 dígitos para el valor, 4 caracteres para la unidad
Integridad de fuga Externo (scc / sec He) <1x10>
A través de la válvula cerrada <1.0% de="" fs="" a="" 25="" psig="" a="" la="">

Materiales mojados  

Estándar

316 SS VAR (equivalente a 316 SS SCQ para calidad de semiconductor),

316 SS, Elgiloy, KM-45, NiTi

Acabado de la superficie 5 micras promedio Ra
Peso Menos de 2 lbs. (0.9 kg)
Eléctrico
Conectores   Analógico (potencia y E / S) 9 pin D macho o 15 pin D macho
Diagnostico Ethernet
Voltaje de entrada 15-24 VDC ± 5% VDC a 350mA pico, estado estable de 250 mA
Set Point Command Signal 0 a 5 VDC
Señal de salida 0 a 5 VDC


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Consulta

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