Introducción
El medidor de flujo másico (MFC) consta de tres dispositivos básicos: sensor de flujo, derivación del divisor de flujo y placa de circuito impreso, mide con precisión las tasas de flujo másico a pesar de que el volumen del gas fluctúa debido a los cambios de temperatura. El MFC se aplica ampliamente en los campos de fabricación de semiconductores y circuitos integrados, ciencia de materiales especiales, industria química, industria petrolífera, industria farmacéutica, protección ambiental, investigación de sistemas de vacío, etc.
Aplicación tipica
Las aplicaciones típicas de MFC incluyen equipos de proceso microelectrónicos como difusión, oxidación, epitaxia, CVD, plasma, grabado, pulverización catódica, implantación de iones y otros campos como equipos de deposición al vacío, fusión de fibra óptica, equipos de microreacción, sistema de mezcla y combinación de gases , sistema de control de flujo capilar, cromatógrafo de gases y otros instrumentos analíticos.
D07-7KM MFC tiene las ventajas de alta precisión, larga vida útil, excelente repetibilidad, respuesta rápida, arranque suave, buena confiabilidad, amplio rango de presión de operación (buen funcionamiento en alta presión o situación de vacío), operación fácil y conveniente, etc. Se puede instalar donde sea necesario y conectarse con la computadora para realizar el control automático.
Especificación
Rangos de flujo | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM |
Exactitud | ± 1.5% FS |
Linealidad | ± 1% FS |
Repetibilidad | ± 0.2% FS |
Tiempo de respuesta | ≤4 sec |
Coeficiente de temperatura | Cero: ≤ ± 0.1% FS / ℃; Span: ≤ ± 0.2% FS / ℃ |
Presión máxima | 3MPa |
temperatura de operacion | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
Material de sellado | Viton, neopreno |
Configuración / señal de salida | 0V ~ + 5.00V (Impedancia de entrada> 100K, corriente de salida≤3ma) |
Fuente de alimentación | + 15V 50mA -15V 50mA |
Conexión eléctrica | D sub 15 pins Mujer |
Presión diferencial | <0.01> |
Tasa de fuga | 1 × 10-8atm • cc / seg He (1 × 10-9 Pa • m3 / seg He) |
Junta estándar | SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (interno) × 1 Acoplador de manguera, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (interno) × 1 Acoplador de manguera |
Medios de comunicación | Todo Gas |
Emi | CE |
Peso | 0.92kg |
Dimensión de instalación
