Foto de la máquina de recubrimiento PVD
Parámetros de la máquina de recubrimiento PVD
Tamaño de la cámara | φ 1200 * H950 | espacio efectivo | φ 650 * H600 |
diámetro máximo del sustrato * cantidad | φ 150 * 12 个 | tiempo de bombeo | cajero automático a 6X10-3 <15>15> |
voltaje / frecuencia de trabajo | 380V / 50Hz | poder real | 70 KW |
Tecnología | HCD + ARC | cantidad objetivo | 12 piezas |
presión máxima | 5.0 * 10 -4 Pa | tasa de fuga | 10-3 Pa.L / s |
revestimiento estándar | TiN 、 CrN 、 AlTiN 等 | revestimiento opcional | TiAlCrN etc. |
estructura giratoria | estructura hacia abajo | construcción de cámara | Puerta simple vertical |
Tipo de fuente de alimentación | Potencia de arco, potencia de polarización de pulso, potencia de pistola electrónica | Sistema de bombeo | Bomba turbo molecular, bomba de raíces, bomba monobloque |
Ciclo de recubrimiento | 3-6 horas / horno | Tamaño global | L4200 * W3200 * H2200MM |
Rendimiento / horno | Fresaφ 10 * 70 880 piezas Partículas de cuchillo φ 18 * 6 6400 placas de cocciónφ 80 * 80 64 modelos 500KG | condición de coincidencia |
aire comprimido : 4-6 KG / CM3
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Método de control | manual + semiautomático +
/ pantalla táctil + PLC Software de revestimiento autodesarrollado | gas de trabajo | Ar 、 N 2 、 O 2 、 C 2 H 2 |
Observación | El tamaño de la cámara de vacío, el tamaño general, la apariencia del equipo se pueden personalizar de acuerdo con los productos del cliente o los requisitos especiales del proceso |