Parámetros:
Arco grande 1.9pcs
2. La cubierta superior está equipada con un cañón de electrones.
Sistema 3.pump: bomba molecular turbo + bomba de raíces + bomba de retención
4. Pruebas de vacío: Dos medidores de vacío compuestos de alto y uno de baja
5. Carcasa l entera en todo el conjunto, con 2 juegos de carrusel de carrusel
Tamaño de la cámara 6.Vacuum: φ1200xH1100
7. Tamaño de la Ocupación: W: 4m x L: 4m
Aplicaciones:
