Resumen del equipo
La línea de revestimiento de vidrio conductivo de alta luz de ITO producida por la compañía IKS PVD es un producto de alta tecnología fabricado al pulverizar material objetivo de óxido de indio y estaño y otro material objetivo de metal sobre vidrio ultrafino con tecnología de magnetrón plano en un entorno de fábrica altamente purificado. Ampliamente utilizado para pantallas de cristal líquido (LCD), células solares, microelectrónica de vidrio de película conductora ITO, optoelectrónica y todo tipo de campo óptico, en láminas acrílicas, vidrio, cerámica, seguimiento, computadora, PC, PET, magnetrón pulverizado en la superficie de Película de metal multifunción de alta calidad, película de blindaje electromagnético anti interferencia (EMI), película de reacción, membrana compuesta, película conductora transparente (ITO), película antirreflectante (AR), película reflectante, etc. Con un gran rendimiento continuo magnético -la producción de metalización controlada, el uso de la tecnología de producción más avanzada de la industria, mejora en gran medida la fuerza de unión de la película y la pieza de trabajo, la adhesión.
Parámetros de equipo
Cámara
| 4 piezas
| Cámara de marco de vidrio de entrada / salida | L2600 × W300 × H2200mm | 1.72m3 |
Cámara de almacenamiento de gas | Φ500 × H1600mm | 2.51m3 | ||
Área de ocupación | 30m × 10m | Cámara de transmisión de vidrio | L2500 × W200 × H2000mm | 1.00m3 |
cámara de recubrimiento | L1300 × W250 × H2200mm | 0,72 m3 | ||
Tamaño de la ventana de revestimiento de marco de vidrio | L2300 × H1600 | Frecuencia de entrada / salida de vidrio | 5 minutos | |
Técnico | Chisporroteo de magnetrón | Poder | Fuente de alimentación DC 40KW, fuente de alimentación MF 40KW | |
Objetivo de esputo | 14 piezas | 4 piezas de objetivos planos ITO, 8 piezas de objetivos cilíndricos Al, 1 pieza de objetivo cilíndrico Cu y 1 pieza de objetivo cilíndrico SS | ||
Solicitud | Pantallas de cristal líquido (LCD), células solares, microelectrónica de vidrio de película conductora ITO, optoelectrónica y varios campos ópticos de vidrio de recubrimiento continuo | |||
