Equipo de recubrimiento por evaporación de haz de electrones

Equipo de recubrimiento por evaporación de haz de electrones

Máquina de recubrimiento óptico EB PVD, aplicaciones: anteojos, espejo reflectante, tablero trasero de teléfono móvil, cubierta protectora, comunicación óptica, pantalla óptica, etc.
Chatee ahora

Detalles

IKS-OPT2700 Máquina de recubrimiento óptico por evaporación de haz de electrones

l   Aplicaciones:

 

Lentes, espejo reflectante, tablero trasero de teléfono móvil, cubierta protectora, comunicación óptica, pantalla óptica, etc.

 

l   Resumen del equipo

 

IKS-OPT2700 está diseñado para el recubrimiento de película óptica de gran área, es una máquina de recubrimiento por evaporación por haz de electrones. El sistema de la máquina de revestimiento consta de cámara de vacío, bomba de vacío, detección y control de vacío, sistema de calentamiento de sustrato, sistema de evaporación por haz de electrones, sistema de deposición asistida por fuente de iones, sistema de evaporación por resistencia, sistema de monitoreo de espesor de película, sistema de control de flujo de volumen de gas de trabajo, trabajo Sistema de rotación de piezas y recubrimiento automático controlado por PLC.

El material de evaporación se usa comúnmente en metales raros, como fluoruro de itrio, fluoruro de praseodimio, germanio, sulfuro de zinc, fluoruro de magnesio, dióxido de titanio, dióxido de silicio, circonia, cobalto, galio, selenio y otros metales. El cobre, el molibdeno, el silicio, el germanio y otros metales se utilizan comúnmente en los materiales ópticos de los reflectores.

Puede recubrir una película de color de luz visible, una película reflectante de aluminio, una película anti-huella digital de AF, una película orgánica de bajo punto de fusión, una película espectroscópica de luz visible, una película antirreflectante de luz visible, etc.


l   Características del equipo

 

Sistema de recubrimiento de película óptica IKS-OPT2700 de gran área, con re-optimización de la estructura de la cámara de vacío, diseño innovador de bomba criogénica, diseño de bastidor giratorio de pieza de trabajo estable, sistema avanzado de evaporación de haz de electrones, dispositivo de ajuste de uniformidad ajustable y control de proceso de recubrimiento automático humanizado, para lograr Un entorno de proceso de vacío estable, obtenido el mejor proceso de recubrimiento, obtuvo productos recubiertos de alta calidad.

 

1. Tamaño de la cámara; Ф2700 × H1670

8. espacio en el piso: L6 × w5.5 × H3.5m

2. Grado de vacío: último vacío: 6 × 10 -4 Pa ( sin carga durante 24 horas sin calentamiento )

9. Peso: 8000 kg, peso del piso 1000 kg / m2

3. Tasa de fugas: 4 × 10 -3 Pa × L / S (control de fugas de helio)

10. Temperatura: a temperatura ambiente a 250 , la uniformidad de temperatura ± 5%

4. Vacío de trabajo: 6 × 10 -3 Pa ( inicio automático del proceso )

11. Fuente de alimentación: trifásica, 380V , 50Hz , 60-100KW

5. bajo vacío: 10 minutos 10Pa

12. Refrigeración por agua: flujo de la cámara 4000L / H , caudal de la bomba 1800L / H, compresor de refrigeración 1600L / H

6. Alto vacío: 6 minutos 8 × 10 -3 Pa

13. Agua caliente: Evaporación Source1800L / H, 35-60

7. Medición de vacío: monitoreo de todo el proceso y recolección de puntos en tiempo real


l   Parámetros técnicos

Monitoreo de espesor de película

 

Control integrado 1.PLC 2. Deposición de película fina, 0.01nm / s 3. Correspondencia rápida madura, enlace con pistola de electrones

Control de flujo

Rango de control: 3 ~ 100sccm 5-500sccm, enlace preciso con fuente de iones, control síncrono, control de flujo,

Salida estable, energía iónica estable es estable

Fuente de E-beam

Tipo: 10KW, una desviación de 270 grados. Ondulación inferior al 0,5%, forma y tamaño del punto de control preciso, estabilidad de operación de control del sistema y alta precisión. Tipo de pistola: filamento de tungsteno, tipo duradero

Fuente de evaporación por resistencia.

Tipo: Barco de tungsteno se evapora por calentamiento. Cantidad: Dos juegos de electrodos, elegir instalación. Adecuado para el proceso de recubrimiento especial, apunta a los materiales de función o materiales metálicos para lograr la función de evaporación

Fuente de ion

Tipo: fuente de iones Hall de 4KW, luz alta, gran angular de divergencia, ánodo desmontable, mantenimiento y limpieza es muy simple

Sistema de control

Interfaz de PC: 17 pulgadas, 1 juego. Pantalla táctil TP: 15 omcjes.1set. Sistema principal: IKS Control lógico programable automático. Sistema de control automático de procesos desarrollado por IKS PVD. Es un sistema operativo inteligente para el registro en tiempo real de los procesos y la retroalimentación de fallas. Integración perfecta, diseño humanizado y que satisface las necesidades personalizadas , para proporcionar un diseño seguro e inteligente del sistema operativo, Preciso Control de funcionamiento.

Diseño seguro

Interruptor de protección del circuito principal, protección de tierra, alarma anormal del componente, protección de monitoreo en tiempo real del funcionamiento del sistema

l   Superioridad del producto

Innovación tecnológica

1. ¡La integración razonable de los productos y los resultados de la innovación tecnológica mejoran el entorno del proceso para lograr un funcionamiento estable del sistema de recubrimiento!

2. La innovación en el diseño de la estructura del producto es razonable, firme, concisa, ¡el mantenimiento es conveniente! (diseño de la postura del usuario!)

3. Operación y desarrollo de innovación del sistema operativo, operación simple, eficiente y práctico.

4. Productos y tecnología de proceso para lograr un proceso de recubrimiento de alta calidad, mejorar la eficiencia, uniformidad, excelente repetibilidad!

5. ¡Lograr el control inteligente de la operación del sistema de recubrimiento!

6. ¡Optimización del sistema de seguridad, aviso de fallos, solución detallada!

7. ¡Alta eficiencia, producción y reducción de costes de gestión!

 

Característica tecnológica

1. Diseño del producto, gracias a la tecnología IKS perfecta y la integración perfecta del acoplamiento del rendimiento del producto, para crear un sistema confiable y estable.

Sistema de recubrimiento fijo, seguro, inteligente!

2. Adquisición de vacío, diseño optimizado nuevamente del sistema de adquisición de vacío, para satisfacer el entorno de vacío rápido y estable.

3. Fuente de evaporación y fuente de iones, diseño razonable y tecnología de procesamiento de alta calidad, tecnología de puesta en servicio, para lograr el proceso

¡El proceso de ajuste automático, la estructura innovadora de haz de electrones y la tasa precisa garantizan la deposición de materiales más precisa y estable!

4. Sistema de control de operación automática, el nuevo desarrollo de sistema preciso y estable! Configuración simple, operación fácil!

Producto recubierto

opt270001

Hot Tags: Equipos de recubrimiento por evaporación de haz de electrones, China, fabricantes, proveedores, compra, personalizados, hechos en China

Consulta

You Might Also Like