Resumen del equipo
IKS-OPT2700 está diseñado para el recubrimiento de película óptica de gran área, es una máquina de recubrimiento por evaporación por haz de electrones. El sistema de la máquina de revestimiento consta de cámara de vacío, bomba de vacío, detección y control de vacío, sistema de calentamiento del sustrato, sistema de evaporación por haz de electrones, sistema de deposición asistida por fuente de iones, sistema de evaporación por resistencia, sistema de monitoreo de espesor de película, sistema de control de flujo de volumen de gas de trabajo Sistema de rotación de piezas y recubrimiento automático controlado por PLC.
El material de evaporación se usa comúnmente en metales raros, como YF 3 (fluoruro de itrio), F 3 Pr (fluoruro de praseodimio), Ge (germanio), ZnS (sulfuro de zinc), MgF 2 (fluoruro de magnesio), TiO 2 (dióxido de titanio) , SiO 2 (dióxido de silicio), ZrO 2 (zirconia), Co (cobalto), Ga (galio), Se (selenio) y otros metales. Cu (cobre), Mo (molibdeno), Si (silicio), Ge (germanio) y otros metales se utilizan comúnmente en los materiales ópticos de los reflectores.
Puede recubrir una película de color de luz visible, una película reflectante de aluminio, una película anti-huella digital de AF, una película orgánica de bajo punto de fusión, una película espectroscópica de luz visible, una película antirreflectante de luz visible, etc.
Parámetros del equipo
Tamaño de la cámara | Ф2700 × H1670mm ， 10.5m 3 | Carrusel | 2650 * H420mm |
Grado de vacío | último vacío: 6 × 10 -4 Pa (sin carga durante 24 horas sin calentamiento ) | Peso | 8000kg, peso del piso ﹥ 1000kg / m 2 |
Tasa de fuga | ＜ 4 × 10 -3 Pa × L / S (control de fugas de helio) | Temperatura | A temperatura ambiente hasta 250, la uniformidad de temperatura ± 5% |
Aspiradora de trabajo | 6 × 10 -3 Pa ( arranque automático de procesos ) | Fuente de alimentación | Trifásico, 380V , 50Hz , 60-100KW |
Bajo vacío | 10 minutos ＜ 10Pa | Refrigeración por agua | El flujo de camara ＞ 4000L / H , El flujo de la bomba ＞ 1800L / H, El flujo del congelador ＞ 1600L / H |
Alto vacío | 6 minutos ＜ 8 × 10 -3 Pa | Agua tibia | Fuente de evaporación1800L / H, 35-60 ℃ |
Medición de vacío | Monitoreo de todo el proceso y recolección de puntos en tiempo real. | espacio de piso | L6 × w5.5 × H3.5m |
Solicitud | Lentes, espejo reflectante, tablero trasero de teléfono móvil, cubierta protectora, comunicación óptica, pantalla óptica, etc. | ||
Solicitud
